[發明專利]太陽能電池及其制造方法

無效

• 申請號: 02103590.3
• 申請日: 2002-02-07
• 公開（公告）號: CN1369919A
• 公開（公告）日: 2002-09-18
• 發明（設計）人: 江本真樹子;藤田健太郎;柴田明夫;橫田洋
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/04
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 韓宏

1.一種制造太陽能電池的方法，包括：

使半導體晶體襯底的一個正面與含有氟化物的電解液接觸；

將一個電極放置于所述電解液中；

在所述電極和所述半導體晶體襯底之間通過電流，并且向所述半導體晶體襯底施加光，以生成空穴和電子對；以及

通過在與所述的電解液保持接觸的半導體晶體襯底的正面內使所述空穴和離子結合來蝕刻所述半導體晶體襯底，由此形成至少一個表面不規則性結構。

2.根據權利要求1所述方法，其特征在于：

所述半導體晶體襯底包括具有(111)表面的多晶硅襯底或單晶硅襯底。

3.根據權利要求1所述方法，其特征在于：

所述半導體晶體襯底包括一具有至多150μm厚度的單晶硅襯底。

4.一種太陽能電池，包括其厚度至多為150μm且具有(111)表面的半導體晶體襯底和布置在所述半導體晶體襯底的表面上的組織化結構。

5.根據權利要求4所述太陽能電池，其特征在于所述半導體晶體襯底包括一單晶硅襯底或一多晶硅襯底。

6.根據權利要求4所述太陽能電池，其特征在于：

按以下方式形成所述的組織化結構：通過使所述半導體晶體襯底的表面與含有氟化物的電解液接觸，在放置在所述的電解液內的電極與所述的半導體晶體襯底之間通過電流，并向所述半導體晶體襯底施加光。