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[發明專利]連續自對準半導體光電子器件與模斑轉換器的集成無效

專利信息
申請號: 02103495.8 申請日: 2002-02-06
公開(公告)號: CN1437289A 公開(公告)日: 2003-08-20
發明(設計)人: 張瑞英;王圩;董杰 申請(專利權)人: 中國科學院半導體研究所
主分類號: H01S5/026 分類號: H01S5/026;G02B6/00;H01L21/00
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 湯保平
地址: 100083*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 連續 對準 半導體 光電子 器件 轉換器 集成
【權利要求書】:
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