[發明專利]顯影液制造裝置及顯影液制造方法

有效

• 申請號: 02103475.3
• 申請日: 2002-02-06
• 公開（公告）號: CN1373393A
• 公開（公告）日: 2002-10-09
• 發明（設計）人: 中川俊元;菊川誠;小川修;森田悟;寶山隆博
• 申請（專利權）人: 長瀨產業株式會社;株式會社平間理化研究所;長瀨CMS科學技術株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/039
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王以平

1.一種顯影液制造裝置，通過管路連接到形成進行了精細加工的電子電路的加工設備上，制造該加工設備中使用的堿系顯影液，其特征在于該裝置備有：

供給且攪拌顯影原液和純水，調制上述堿系顯影液的調制槽；

測定上述調制槽內的上述堿系顯影液的量的第一液量測定裝置；

測定上述調制槽內的上述堿系顯影液的堿濃度的第一堿濃度測定裝置；

根據上述第一液量測定裝置的測定值和上述第一堿濃度測定裝置的測定值，調整上述調制槽內的上述堿系顯影液的量的第一液量控制裝置；以及

根據上述第一液量測定裝置的測定值和上述第一堿濃度測定裝置的測定值，調整供給上述調制槽的上述顯影原液的供給量及上述純水的供給量這兩者中的至少一者的液供給控制裝置。

2.根據權利要求1所述的顯影液制造裝置，其特征在于備有：

在上述調制槽和上述加工設備之間設置的、使該堿系顯影液的堿濃度正常化的正常化槽。

3.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述正常化槽備有測定該正常化槽內的上述堿系顯影液的量的第二液量測定裝置。

4.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述正常化槽備有測定該正常化槽內的上述堿系顯影液的堿濃度的第二堿濃度測定裝置。

5.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述正常化槽備有根據第二液量測定裝置的測定值和上述第二堿濃度測定裝置的測定值，調整上述正常化槽內的上述堿系顯影液的量的第二液量控制裝置。

6.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：備有將上述正常化槽內的上述堿系顯影液循環供給上述調制槽的循環供給用管路。

7.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述正常化槽備有攪拌該正常化槽內的上述堿系顯影液的攪拌機構。

8.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述正常化槽備有過濾該正常化槽內的上述堿系顯影液的過濾機構。

9.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：備有將上述堿系顯影液從上述調制槽供給上述正常化槽，調整該調制槽中的該堿系顯影液的液面高度以及該正常化槽中的該堿系顯影液的液面高度的液供給·液面高度控制裝置。

10.根據權利要求9所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述液供給·液面高度控制裝置是能從上述調制槽向上述正常化槽自然地輸送上述堿系顯影液，且具有連接該調制槽及該正常化槽的連通管的裝置。

11.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：備有設置在上述正常化槽和上述加工設備之間、儲存上述堿系顯影液的儲存槽。

12.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：備有利用潮濕的氮氣密封上述調制槽和上述正常化槽的潮濕氮氣密封裝置。

13.根據權利要求1所述的顯影液制造裝置，其特征在于：具有多個上述調制槽。

14.根據權利要求2所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述調制槽和上述正常化槽構成一體。

15.根據權利要求1所述的顯影液制造裝置，其特征在于：備有測定處于供給的上述加工設備之前的狀態下的上述堿系顯影液中含有的微粒子數的微粒子數測定裝置。

16.根據權利要求1所述的顯影液制造裝置，其特征在于：備有將上述堿系顯影液中含有的溶解氣體除去的溶解氣體除去裝置。

17.根據權利要求1所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述第一液量測定裝置測定上述堿系顯影液的容積或重量中的至少一種。

18.根據權利要求1所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述第一堿濃度測定裝置是電導率計、超聲波濃度計、液體密度計及自動滴定裝置中的至少一種。

19.根據權利要求1所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述第二堿濃度測定裝置是電導率計、超聲波濃度計、液體密度計及自動滴定裝置中的至少一種。

20.根據權利要求1所述的顯影液制造裝置，其特征在于：上述顯影原液具有從預定范圍的堿濃度中選擇的任意的堿濃度。

21.一種顯影液制造方法，用來制造在形成進行了精細加工的電子電?路的加工工序中通過管路供給的堿系顯影液，其特征在于包括：

攪拌顯影原液和純水，調制上述堿系顯影液的工序；

測定上述堿系顯影液的量的測定工序；

測定上述堿系顯影液的堿濃度的測定工序；

根據上述上述堿系顯影液的液量測定值和堿濃度測定值，調整上述堿系顯影液的量的工序；以及

根據上述上述堿系顯影液的液量測定值和堿濃度測定值，調整向上述調制上述堿系顯影液的工序供給的上述顯影原液的供給量及上述純水的供給量這兩者中的至少一者的工序。