[發(fā)明專利]沉積裝置和沉積方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02103325.0 | 申請日： | 2002-01-31 |
| 公開（公告）號： | CN1369573A | 公開（公告）日： | 2002-09-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 山崎舜平;瀨尾哲史;水上真由美 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社半導(dǎo)體能源研究所 |
| 主分類號： | C23C14/12 | 分類號： | C23C14/12;C23C14/24;H01L51/40;H01L33/00;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吳立明,張志醒 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 沉積 裝置 方法 | ||
1.一種沉積裝置，該裝置包括：
多個沉積室；和
在所述沉積室中的多個蒸發(fā)源；
其中多個蒸發(fā)源中的每一個包括至少一種有不同功能的有機化合物，和
其中具有不同功能的有機化合物是通過從所述多個蒸發(fā)源的真空蒸發(fā)而連續(xù)沉積的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的沉積裝置，其中該沉積裝置包括：
形成第1有機化合物層的第1沉積室，
形成第2有機化合物層的第2沉積室，
形成第3有機化合物層的第3沉積室。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的沉積裝置，其中：
所述第1有機化合物層發(fā)射紅光，
所述第2有機化合物層發(fā)射綠光，和
所述第3有機化合物層發(fā)射藍光。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的沉積裝置，其中每個所述蒸發(fā)源有一種有機化合物，該有機化合物從一組包括空穴注入能力、空穴輸運能力、發(fā)光能力、阻擋能力、電子輸運能力、或電子注入能力中選擇。
5.一種沉積裝置，該裝置包括：
多個沉積室；和
多個在所述沉積室中的蒸發(fā)源；
其中多個蒸發(fā)源中的每一個包括至少一種具有不同功能的有機化合物，和
其中具有不同功能的有機化合物中的至少二種有機化合物是由所述的多個蒸發(fā)源的真空蒸發(fā)被同時沉積的。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的沉積裝置，其中該沉積裝置包括：
形成第1有機化合物層的第1沉積室，
形成第2有機化合物層的第2沉積室，和
形成第3有機化合物層的第3沉積室。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的沉積室，其中：
所述第1有機化合物層發(fā)射紅光，
所述第2有機化合物層發(fā)射綠光，和
所述第3有機化合物層發(fā)射藍光。
8.根據(jù)權(quán)利要求5的沉積裝置，其中每個所述的蒸發(fā)源具有一種有機化合物，該有機化合物從一組包括空穴注入能力、空穴輸運能力、發(fā)光能力、阻擋能力、電子輸運能力、或電子注入能力中選擇。
9.一種沉積裝置，該裝置包括：
裝料室；
具有在金屬掩蔽板和襯底之間進行位置對準(zhǔn)功能的定線室；
沉積室；和
在所述沉積室內(nèi)的多個蒸發(fā)源；
其中裝料室、定線室、和沉積室相互串接：
其中多個蒸發(fā)源中的每一個包括至少一種具有不同功能的有機化合物；和
其中具有不同功能的有機化合物是由所述多個蒸發(fā)源的真空蒸發(fā)被連續(xù)沉積的。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的沉積裝置，其中沉積裝置包括：
形成第1有機化合物層的第1沉積室，
形成第2有機化合物層的第2沉積室，和
形成第3有機化合物層的第3沉積室。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的沉積室，其中：
所述第1有機化合物層發(fā)射紅光，
所述第2有機化合物層發(fā)射綠光，和
所述第3有機化合物層發(fā)射藍光。
12.根據(jù)權(quán)利要求9的沉積裝置，其中每個所述蒸發(fā)源具有一種有機化合物，該有機化合物從一組包括空穴注入能力、空穴輸運能力、發(fā)光能力、阻擋能力、電子輸運能力、或電子注入能力中選擇。
13.一種沉積裝置，該裝置包括：
裝料室；
具有在金屬掩蔽板和襯底之間進行位置對準(zhǔn)功能的定線室；
沉積室；和
在所述沉積室內(nèi)的多個蒸發(fā)源；
其中裝料室、定線室、和沉積室相互串接：
其中多個蒸發(fā)源中的每一個包括至少一種具有不同功能的有機化合物，和
其中具有不同功能的有機化合物中的至少兩種是由所述多個蒸發(fā)源的真空蒸發(fā)同時被沉積的。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的沉積裝置，其中該沉積裝置包括：
形成第1有機化合物層的第1沉積室，
形成第2有機化合物層的第2沉積室，和
形成第3有機化合物層的第3沉積室。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的沉積裝置，其中：
所述第1有機化合物層發(fā)射紅光，
所述第2有機化合物層發(fā)射綠光，
所述第3有機化合物層發(fā)射藍光。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
