[發(fā)明專利]半導體元件的圖案轉(zhuǎn)移的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02103086.3 | 申請日： | 2002-02-08 |
| 公開（公告）號： | CN1437070A | 公開（公告）日： | 2003-08-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 洪齊元;吳義鑣 | 申請（專利權）人： | 旺宏電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 臺灣省新竹科 *** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 元件 圖案 轉(zhuǎn)移 方法 | ||
【權利要求書】：
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