[發明專利]廢水的處理方法及處理裝置

無效

• 申請號: 02102787.0
• 申請日: 2002-02-01
• 公開（公告）號: CN1369444A
• 公開（公告）日: 2002-09-18
• 發明（設計）人: 岡村淳志;佐野邦夫;池田光明;北浦正次;松島薰
• 申請（專利權）人: 株式會社日本觸媒
• 主分類號: C02F9/04
• 分類號: C02F9/04;C02F9/02;//;102;104;120;166;172)
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所
• 代理人: 徐申民

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本發明涉及一種廢水的處理方法及處理裝置，所述處理方法及處理裝置是對含有可氣化的有機化合物的廢水、和含有經氣化可解吸放出的化合物(以下稱可氣化解吸放出的化合物)的廢水同時進行處理的方法和處理裝置。本發明又涉及一種就含有可氣化的有機化合物和可氣化解吸放出化合物的廢水，對其中的有機化合物和可氣化解吸放出化合物同時進行處理的方法和裝置。雖然以下，關于上述可氣化的有機化合物是以氫氧化四烷基胺為例，又關于可氣化解吸放出化合物是以氨為例加以主要說明的，但本發明的處理對象不限于上述的氨和氫氧化四烷基胺。

?????????????????????????背景技術

可氣化解吸放出化合物的代表例可以舉出氨，已知的現有處理廢水中氨的方法是催化劑處理法和生物處理法。

上述催化劑處理法首先是將氨從廢水中解吸，然后使氨與催化劑接觸而氧化，分解成無害的氮氣和水。(如特開平7-289897號公報)

上述生物處理法是利用微生物的作用，將廢水中的氨變成氮氣和水的方法。但生物處理法的處理效率低，要獲得高效的處理能力需依賴于裝置規模的放大，并且由于產生了剩余污泥，還會有處理這些污泥的問題。

又，作為廢水中含有的需排出的物質，有無法用氣體解吸實質放出，但可以使廢水全部氣化的可氣化的有機化合物。這種有機化合物以氫氧化四烷基胺為例。作為含有氫氧化四烷基胺之類的有機化合物的廢水的處理法，已知有焚燒法、微生物處理法、超臨界水分解處理法。

上述焚燒法是將廢水在高溫下燃燒，使廢水中含有的含氮有機化合物被氧化分解處理。此時，通常從例如上述氫氧化四烷基胺那樣分子中含有氮的有機化合物(含氮有機化合物)會生成氮氧化物(NOx)。因為必須要配備使這種NOx變成更加無害的物質的處理設備，所以焚燒法存在設備大型化、建設費用高的缺點。

上述微生物法是通過微生物作用，使含氮有機化合物分解處理成無害的氮氣、水、二氧化碳等的方法。該微生物處理法和上述焚燒法一樣，處理效率低，處理設備必須大型化，還必須考慮剩余污泥的處理問題。

上述使用超臨界水的分解處理法，是利用超臨界狀態水的物理和化學特性的方法。因為必須要控制在高溫和高壓狀態下水才會處于超臨界狀態，所以對處理裝置的耐熱性、耐壓性有嚴格的要求，且要得到高壓，必須要有高壓泵、高壓壓縮機等設備，所以設備花費很大。

本發明人為解決關于氫氧化四烷基胺等的凈化處理的問題，就將上述氫氧化四烷基胺等含氮有機化合物變成氮氣、二氧化碳等不需要后處理的無害氣體，排出廢水方法，已提出新的提案，并申請了專利(專利號2000-114086)。

??????????????????發明內容

如上所述，就氫氧化四烷基胺等和氨分別進行處理的方法，已有人提出了方案，但還沒有對含有上述兩者的廢水同時進行處理的方法。并且由于半導體裝置制造工廠和各種化學工廠排出各種各樣的廢水，若針對被處理廢水的種類和被處理的物質采用各種不同的處理裝置，則會有必須為處理設備準備很大的場地，和需要很高的設備費用和運轉成本的問題。

本發明的目的在于提供一種廢水處理方法及處理裝置，所述方法和裝置能同時對不同種類的廢水進行處理，即對含有氫氧化四烷基胺等和氨等的廢水同時進行處理，由此，使廢水處理裝置簡單、設備投入低廉的處理方法和處理裝置。

從半導體裝置制造工廠等排出的有代表的廢液是含氨等可氣化解吸放出的化合物的廢水(以下稱廢水[B])，含氫氧化四烷基胺等有機化合物的廢水(以下稱廢水[A])，以及，以含氨和氫氧化四烷基胺等有機化合物的廢水。本發明人發現：若將氨和氫氧化四烷基胺(以下稱TMAH)作為廢水中的處理對象物質，則對于加熱分解TMAH的分解生成物和氨，用以二氧化鈦和二氧化硅復合氧化物為催化劑載體，含釩、鎢、鈀的催化劑(TiO₂·SiO₂·V·W·Pd)的同一催化劑作催化處理后，可以排出氮氣(N₂)、氧氣(O₂)、水(H₂O)、二氧化碳(CO₂)。