[發(fā)明專利]滲碳方法和滲碳設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02102026.4 | 申請(qǐng)日: | 2002-01-17 |
| 公開(公告)號(hào): | CN1376810A | 公開(公告)日: | 2002-10-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 河田一喜;佐藤初男;淺井茂太;關(guān)谷慶之 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 東方工程公司 |
| 主分類號(hào): | C23C8/22 | 分類號(hào): | C23C8/22 |
| 代理公司: | 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人: | 龍傳紅 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 滲碳 方法 設(shè)備 | ||
發(fā)明背景
發(fā)明領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種主要用于鋼制部件的滲碳方法和一種滲碳設(shè)備,更具體地,涉及一種經(jīng)濟(jì)的滲碳方法和滲碳設(shè)備,能夠高重復(fù)性進(jìn)行滲碳處理并獲得高的滲碳質(zhì)量。
相關(guān)技術(shù)的描述
作為傳統(tǒng)的滲碳方法,存在氣相滲碳法、等離子滲碳法、真空滲碳法等。其中,氣相滲碳法是一種進(jìn)行滲碳并控制氣氛的方法,因此,可以穩(wěn)定控制被處理物體表面的碳濃度。因此,由于滲碳處理在重復(fù)性和質(zhì)量方面優(yōu)異,所以,該方法最廣泛應(yīng)用于汽車等的工業(yè)機(jī)械部件。
然而,氣相滲碳法存在成問(wèn)題的缺點(diǎn):滲碳?xì)怏w的使用量高;在燃燒廢氣時(shí)有危險(xiǎn);在被處理物體表面內(nèi)發(fā)生晶粒間氧化;在高溫滲碳困難;等等。
雖然等離子滲碳法有利的是能滲碳難以滲碳的均勻材料,如不銹鋼、Ti合金等,但是,它存在一些問(wèn)題:即設(shè)備成本高;當(dāng)被處理物體緊密排列時(shí)不能進(jìn)行滲碳處理;經(jīng)過(guò)滲碳處理的物體質(zhì)量不穩(wěn)定,導(dǎo)致由于缺少氣氛控制產(chǎn)生的滲碳處理重復(fù)性差。
真空滲碳法可以大致分成兩種系統(tǒng),一種已經(jīng)長(zhǎng)期使用的系統(tǒng)是使用碳?xì)浠衔锶鏑H4、C3H8、C4H10作為滲碳劑,在高達(dá)約10-70kPa的壓力下進(jìn)行滲碳。舊系統(tǒng)的真空滲碳法具有不發(fā)生晶粒間氧化的優(yōu)點(diǎn),能夠在高溫下進(jìn)行并且具有用短滲碳時(shí)間進(jìn)行的可能性。然而,積灰現(xiàn)象太強(qiáng),經(jīng)常需要困難的維護(hù)工作,并且維護(hù)工作的環(huán)境差。此外,由于不進(jìn)行氣氛控制,所以存在滲碳處理重復(fù)性低的另一個(gè)問(wèn)題。
另一方面,新系統(tǒng)的真空滲碳方法是一種使用碳?xì)浠衔锶鏑3H8、C2H2、C2H4作為滲碳?xì)怏w在高達(dá)約10kPa或更低的壓力下進(jìn)行滲碳的系統(tǒng)。這種系統(tǒng)的真空滲碳法與上述舊系統(tǒng)相比,具有積灰現(xiàn)象輕;不產(chǎn)生晶粒間氧化;并且高溫滲碳可能使?jié)B碳時(shí)間縮短的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明概述
但是,即使在其中滲碳過(guò)程中的壓力為10kPa或更低的新系統(tǒng)的真空滲碳法情況下,與上述舊系統(tǒng)類似,也不進(jìn)行氣氛控制,因此,與舊系統(tǒng)一樣,如果滲碳條件與普通滲碳條件不同,仍然存在滲碳處理重復(fù)性差的問(wèn)題。
順便提一下,滲碳條件與普通滲碳條件不同指的是,例如,在被處理物體的表面積或被處理物體表面的氧化程度改變的情況;構(gòu)成滲碳被處理物體的滲碳室的結(jié)構(gòu)材料(壁材料)用新材料更換的情況;在對(duì)上述滲碳室的泄漏量和從上述結(jié)構(gòu)材料中蒸發(fā)的氣體量變化的情況。
此外,即使與舊系統(tǒng)相比,積灰量小,但是,在滲碳時(shí)產(chǎn)生的積灰程度完全不監(jiān)控,因此,問(wèn)題沒(méi)有完全解決。
所以,本發(fā)明提出解決傳統(tǒng)技術(shù)存在的這些問(wèn)題,并提供一種經(jīng)濟(jì)的滲碳方法和滲碳設(shè)備,在滲碳處理的重復(fù)性方面優(yōu)異,并且能進(jìn)行高質(zhì)量的滲碳。
為了解決上述問(wèn)題,本發(fā)明構(gòu)成如下。即,根據(jù)本發(fā)明的滲碳方法,在13-4,000Pa的壓力下,在含有不超過(guò)30體積%一氧化碳的氣氛氣體中的滲碳過(guò)程中,分析氣氛氣體的組成,并根據(jù)分析結(jié)果調(diào)節(jié)溫度、壓力和氣氛氣體組成中的至少一項(xiàng)。
順便提一下,可以通過(guò)測(cè)量在上述氣氛氣體中的氧含量來(lái)分析在滲碳過(guò)程中的上述氣氛氣體的組成。
此外,可以通過(guò)測(cè)量上述氣氛氣體的熱導(dǎo)率來(lái)分析在滲碳過(guò)程中的上述氣氛氣體的組成。
此外,可以通過(guò)測(cè)量在上述氣氛氣體中的氫含量來(lái)分析在滲碳過(guò)程中的上述氣氛氣體的組成。
此外,在13-4,000Pa的壓力下在含有不大于30體積%的氣氛氣體中進(jìn)行滲碳的滲碳設(shè)備包括容納被處理物體的滲碳室;在滲碳過(guò)程中分析在上述滲碳室中的氣氛氣體組成的氣體分析裝置;根據(jù)上述氣體分析裝置的分析結(jié)果改變上述滲碳室內(nèi)溫度的溫度調(diào)節(jié)裝置、根據(jù)上述氣體分析裝置的分析結(jié)果改變上述滲碳室內(nèi)壓力的壓力調(diào)節(jié)裝置、根據(jù)上述氣體分析裝置的分析結(jié)果改變上述滲碳室內(nèi)的上述氣氛氣體組成的氣氛氣體組成調(diào)節(jié)裝置中的至少一種;和根據(jù)上述氣體分析裝置的分析結(jié)果顯示分析結(jié)果信息的信息顯示設(shè)備。
順便提一下,上述氣體分析裝置可以是一種氧傳感器。氧傳感器優(yōu)選的是具有耐133Pa或更低真空度的氣密性結(jié)構(gòu)。這樣,可以進(jìn)行滲碳過(guò)程中的氣氛氣體組成分析而沒(méi)有任何問(wèn)題。
此外,上述氣體分析裝置可以是一種測(cè)量上述氣氛氣體熱導(dǎo)率的儀器。
上述氣體分析裝置也可以是一種氫傳感器。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C8-00 金屬材料表面中僅滲入非金屬元素的固滲
C23C8-02 .被覆材料的預(yù)處理
C23C8-04 .局部表面的處理,例如使用掩蔽物的
C23C8-06 .使用氣體的
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