[發明專利]檢測和分析樣品表面缺陷的方法有效
| 申請號： | 01822042.8 | 申請日： | 2001-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN1486421A | 公開（公告）日： | 2004-03-31 |
| 發明（設計）人： | C·貝納特克;F·凱爾納;P·馬奇 | 申請（專利權）人： | 阿特拉斯材料測試技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G06T7/00;G01N21/57 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所 | 代理人： | 李家麟 |
| 地址： | 德國林森*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 分析 樣品 表面 缺陷 方法 | ||
【權利要求書】：
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