[發明專利]含有1,3－二羰基化合物的半導體去膜組合物無效
| 申請號： | 01821356.1 | 申請日： | 2001-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN1483093A | 公開（公告）日： | 2004-03-17 |
| 發明（設計）人： | 威廉·A·沃伊特恰克;法蒂瑪·瑪·塞約;戴維·伯恩哈德;朗·柬 | 申請（專利權）人： | 高級技術材料公司 |
| 主分類號： | C23G5/036 | 分類號： | C23G5/036;C09K13/02;C11D9/04 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 王維玉;丁業平 |
| 地址： | 美國康*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 含有 羰基 化合物 半導體 組合 | ||
【權利要求書】：
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