[發明專利]采用掃描電子顯微鏡在非真空環境下檢驗樣品的裝置和方法無效
| 申請號： | 01819906.2 | 申請日： | 2001-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN1511332A | 公開（公告）日： | 2004-07-07 |
| 發明（設計）人： | 艾莎·摩西;奧賴·濟克;斯蒂芬·蒂貝熱 | 申請（專利權）人： | 耶德研究和發展有限公司;EL－MUL技術有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/256 | 分類號： | H01J37/256;H01J37/20 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 夏青 |
| 地址： | 以色列*** | 國省代碼： | 以色列;IL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 采用 掃描 電子顯微鏡 真空 環境 檢驗 樣品 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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