[發明專利]基本上沒有氧化誘生堆垛層錯的摻氮硅無效
| 申請號： | 01815935.4 | 申請日： | 2001-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN1461360A | 公開（公告）日： | 2003-12-10 |
| 發明（設計）人： | H·哈加;T·奧希馬;M·巴納 | 申請（專利權）人： | MEMC電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 | 代理人： | 于靜;李崢 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基本上 沒有 氧化 堆垛 摻氮硅 | ||
【說明書】：
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