[發明專利]低口徑化學機械研磨系統無效
| 申請號： | 01814551.5 | 申請日： | 2001-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN1447734A | 公開（公告）日： | 2003-10-08 |
| 發明（設計）人： | M·A·薩爾達納;J·M·博伊德;Y·戈特基斯;A·A·奧夫查爾茨 | 申請（專利權）人： | 蘭姆研究有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24B53/007 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 口徑 化學 機械 研磨 系統 | ||
【說明書】：
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