[發明專利]光刻膠剝離劑組合物有效
| 申請號: | 01808573.3 | 申請日: | 2001-04-25 |
| 公開(公告)號: | CN1426544A | 公開(公告)日: | 2003-06-25 |
| 發明(設計)人: | 尹錫壹;樸英雄;吳昌一;李相大;柳終順 | 申請(專利權)人: | 東進瑟彌侃株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/42 | 分類號: | G03F7/42 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 | 代理人: | 劉國平 |
| 地址: | 暫無信息 | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光刻 剝離 組合 | ||
【權利要求書】:
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