[發明專利]用于排放均勻化學制品的滴落歧管無效
| 申請號： | 01807368.9 | 申請日： | 2001-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN1420806A | 公開（公告）日： | 2003-05-28 |
| 發明（設計）人： | 鄧·E·安德森;卡特里娜·米哈耶里奇;麥克·拉夫金;約翰·M·德拉奧斯 | 申請（專利權）人： | 拉姆研究公司 |
| 主分類號： | B05B1/02 | 分類號： | B05B1/02;B08B1/04;B08B3/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 陳堅 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 排放 均勻 化學 制品 滴落 歧管 | ||
【說明書】：
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