[發明專利]倒錐形抗蝕圖案的形成方法有效
| 申請號： | 01805988.0 | 申請日： | 2001-03-06 |
| 公開（公告）號： | CN1408078A | 公開（公告）日： | 2003-04-02 |
| 發明（設計）人： | 小林聰 | 申請（專利權）人： | 克拉瑞特國際有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/26 | 分類號： | G03F7/26;H01L21/027;H05B33/22;H05B33/14;H05B33/12 |
| 代理公司： | 北京三幸商標專利事務所 | 代理人： | 劉激揚 |
| 地址： | 瑞士*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 錐形 圖案 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
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