[發明專利]用于i－線的高分辨率感光性樹脂組合物和形成圖案的方法

無效

• 申請號: 01804830.7
• 申請日: 2001-12-11
• 公開（公告）號: CN1401096A
• 公開（公告）日: 2003-03-05
• 發明（設計）人: 高橋修一
• 申請（專利權）人: 克拉瑞特國際有限公司
• 主分類號: G03F7/023
• 分類號: G03F7/023;H01L21/027
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務所
• 代理人: 劉激揚

1.使用i-線作為曝光光源，使用感光性樹脂組合物形成圖案的方法，其中所述的組合物包括堿溶性樹脂和含有醌二疊氮化物基團的光敏劑，其中堿溶性樹脂為酚醛清漆樹脂和選自下述一個或更多樹脂的混合物，(i)聚丙烯酸酯、(ii)聚異丁烯酸酯、(iii)聚苯乙烯衍生物和(iv)包括兩個或更多選自丙烯酸酯、異丁烯酸酯和苯乙烯衍生物單體的共聚物。

2.用于i-線曝光的感光性樹脂組合物，包括堿溶性樹脂和含有醌二疊氮化物基團的光敏劑，其中堿溶性樹脂為酚醛清漆樹脂和選自下述一個或更多樹脂的混合物，(i)聚丙烯酸酯、(ii)聚異丁烯酸酯、(iii)聚苯乙烯衍生物和(iv)包括兩個或更多選自丙烯酸酯、異丁烯酸酯和苯乙烯衍生物單體的共聚物。

3.根據權利要求2所述的用于i-線曝光的感光性樹脂組合物，其中所述含有醌二疊氮化物基團的光敏劑為四羥基二苯甲酮和1，2-萘醌二疊氮化物磺酸的酯化產物。

4.根據權利要求2或3所述的用于i-線曝光的感光性樹脂組合物，其中所述含有醌二疊氮化物基團的光敏劑為四羥基二苯甲酮和1，2-萘醌二疊氮化物磺酸的酯化產物的混合物。

5.根據權利要求2至4中任一項所述的用于i-線曝光的感光性樹脂組合物，其中相對于100重量份含有醌二疊氮化物基團的光敏劑，使用0.0001到1.0重量份的熒光劑。