[發(fā)明專利]平板顯示器的電極形成方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 01804523.5
• 申請日: 2001-12-04
• 公開（公告）號: CN1398390A
• 公開（公告）日: 2003-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 阿部知行;小田正明
• 申請（專利權(quán)）人: 愛發(fā)科股份有限公司
• 主分類號: G09F9/30
• 分類號: G09F9/30;G09F9/00;H01J11/02;H01J9/02;G02F1/1343;C09D11/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 王健

???????????????????????技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及使用由含金屬超細粒子及分散劑的金屬超細粒子獨立分散液組成的油墨噴射打印機用油墨的平板顯示器(以下，也稱FPD)的電極形成方法。

???????????????????????背景技術(shù)

過去，在著色涂料、導(dǎo)電涂料等的領(lǐng)域，使用金屬超細粒子分散液，而迄今為止還沒有作為油墨使用金屬超細粒子分散液，利用油墨噴射記錄方式形成FPD的電極的方法。FPD有液晶顯示器(LCD)，等離子體顯示板(以下，均稱PDP)、有機EL顯示器(EL)、場致發(fā)射顯示器(FED)等多種多樣，而本發(fā)明主要對PDP代表性地說明如下。

PDP作為民用的大型顯示器而引人注目。為了廣泛地進行普及，迫切希望通過制造過程的簡化而大幅度降低成本。首先，對其制造過程，以42英寸高清晰度用彩色PDP的制造為例進行說明。工序由前面板與背面板的二種類的制造工序構(gòu)成。前面板上的電極稱掃描電極，在玻璃板上1024象素的各象素形成2根ITO透明電極。由于只用透明電極的電阻值高，故在透明電極上形成金屬母線電極。母線電極寬50μm、厚2μm，過去的工序中，母線電極采用使用厚膜Ag糊的篩網(wǎng)印刷法或濺射法而全面成膜，使用抗蝕劑膜的光刻法的電極圖形形成法而形成。其次，背面極上的電極稱尋址電極，在玻璃板上1024象素的各象素直接形成3根電極，尋址電極寬50μm、厚2μm，與掃描電極同樣地采用篩網(wǎng)印刷法、或濺射法、光刻法形成。掃描電極、尋址電極都從其上面形成玻璃介電體層。

前面板、背面板均經(jīng)過其后面的工序后，彼此貼合而完成PDP板，在工序之中，電極形成工序最繁雜且費工時，影響成本的降低。

作為上述超細粒子分散液的制造法，眾知有將金屬超細粒子或粉末與溶劑、樹脂、分散劑等一起采用攪拌、外加超聲波、球磨機、混砂機等進行分散處理而制造超細粒子分散液的方法，而用該法制得的分散液可在涂料等的領(lǐng)域使用。該制造法中，例如，作為在液相中直接獲得超細粒子的方法，有在氣體環(huán)境氣氛中且在溶劑的蒸汽共存的氣相中使金屬蒸發(fā)，使蒸發(fā)的金屬冷凝成均勻的超細粒子而分散在溶劑中獲得分散液的氣體中蒸發(fā)法(特許公報第2561537號)、及利用不溶解性沉淀反應(yīng)或采用還原劑利用還原反應(yīng)的方法。在這些的金屬超細粒子分散液的制法中，氣體中蒸發(fā)法可穩(wěn)定地制造粒徑100nm以下的超細粒子均勻分散的分散液，而且，在制造時，只使用比液相法的量少的分散穩(wěn)定劑或樹脂成分，便可制得設(shè)定濃度的超細粒子分散液。

如上所述，作為油墨噴射用油墨，尚沒有使用金屬超細粒子分散液的例子，這是因為作為油墨噴射用油墨，尚沒有滿足為可使用的油墨特性(粘度、表面張力等)的產(chǎn)品。用過去的氣體中蒸發(fā)法制得的金屬超細粒子產(chǎn)生凝聚，即使試了在溶劑中分散，也難以變成穩(wěn)定的狀態(tài)。因此，作為油墨噴射用油墨，即使使用這樣的金屬超細粒子分散液，也存在金屬超細粒子的凝聚體堵塞油墨噴射噴嘴的問題。當(dāng)外，在超細粒子獨立分散的金屬超細粒子獨立分散液中，作為油墨噴射用油墨使用這種分散液時，必須使用適合滿足油墨特性的溶劑使之成為分散液。對于選擇適當(dāng)?shù)娜軇嬖陔y以簡單地滿足的問題。

另外，在以往技術(shù)的氣體中蒸發(fā)法中，蒸發(fā)的金屬蒸汽進行冷凝時，共存的溶劑變性后產(chǎn)生副產(chǎn)物，由于這些副產(chǎn)物的量而在分散液保存時間、粘度、著色等方面有時產(chǎn)生問題。此外，如后面所說明的一樣，該氣體中蒸發(fā)法的工序中，分散在難以使用的低沸點溶劑或水及醇類溶劑等中的超細粒子分散液存在依分散液的用途所要求的問題。

根據(jù)PDP過去的制造過程，前面板與背面板分別用各自的工序制造，最后組合成板。

首先，對前面板的制造過程進行說明。接到玻璃基板檢查后，用濺射法及光刻法形成掃描電極的ITO圖案。由于只是ITO膜電阻值高，在ITO膜上作為母線電極形成寬50μm、厚2μm的金屬膜，而這種方法，現(xiàn)在有以厚膜Ag焊錫膏為材料的篩網(wǎng)印刷法、或用光刻法將Cr/Cu/Cr的層合濺射膜進行圖案蝕刻的方法二種。母線電極形成后，在其上面順序形成玻璃介電體層、黑底、密封層、MgO層，然后移到用于與背面板組合的組裝工序。

下面，對背面板的制造工序進行說明。接到玻璃基板檢查后，形成尋址電極，該方法與前面板同樣，有以厚膜Ag焊錫膏為材料的篩網(wǎng)印刷法，或采用光刻法把Cr/Cu/Cr的層合濺射膜進行圖案蝕刻的方法二種。尋址電極形成后，在其上面順序形成玻璃介電體層、條紋變化層、熒光體層、密封層，然后移到與前面板組合的組裝工序，封裝相互的板，排氣，封入氣體后，進行老化處理，完成PDP板。