[發明專利]角速度傳感器

無效

• 申請號: 01804166.3
• 申請日: 2001-01-08
• 公開（公告）號: CN1397004A
• 公開（公告）日: 2003-02-12
• 發明（設計）人: 克里斯托弗·P·費爾
• 申請（專利權）人: BAE系統公共有限公司
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;G01P9/04
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 吳麗麗

1.一種角速度傳感器裝置，該裝置包括有諧振器、驅動裝置、感測裝置和相關的電子控制裝置，諧振器、驅動裝置、感測裝置和控制裝置構造在具有[100]主晶面的晶體硅片層中，其中諧振器布置成由控制裝置以匹配成提供穩定的諧振器響應的振動模式對進行操作。

2.如權利要求1所述的角速度傳感器裝置，其中所述諧振器被設置成以提供簡并的載波和響應參數的Sin3θ/Cos3θ振動模式對進行操作。

3.如權利要求2所述的角速度傳感器裝置，其中所述諧振器包括一種基本上為平面環的結構。

4.如權利要求3所述的角速度傳感器裝置，其中所述支承裝置包括多根柔性支承腿。

5.如權利要求4所述的角速度傳感器裝置，其中所述支承腿的數目和位置與振動模式對的模式對稱性匹配。

6.如權利要求4或5所述的角速度傳感器裝置，其中所述諧振器設置在空腔內，它與基片間隔開并且通過從中心插座延伸到平面環形結構諧振器的支承腿懸吊在空腔中。

7.如前面權利要求中任一項所述的角速度傳感器裝置，其中所述電子控制裝置包括與驅動裝置一同使用的驅動電路和與感測裝置一同使用的感測電路。

8.如權利要求7所述的角速度傳感器裝置，其中所述驅動電路和所述感測電路每個都在諧振器的圓周上設置在相應驅動裝置和感測裝置附近。

9.如權利要求7或8所述的角速度傳感器裝置，其中所述感測電路包括用于放大所感測到的信號的放大器。

10.如前面權利要求中任一項所述的角速度傳感器裝置，其中所述驅動裝置包括相對于固定參考軸線設置在0°、120°、240°處的三個載波模式驅動元件，并且所述感測裝置包括相對于固定參考軸線設置在60°、180°、300°處的三個載波模式感測元件。

11.如權利要求10所述的角速度傳感器裝置，其中所述驅動裝置包括相對于固定參考軸線設置在90°、210°、330°處的三個響應模式驅動元件，并且所述感測裝置包括相對于固定參考軸線設置在30°、150°、270°處的三個響應模式感測元件。

12.如前面權利要求中任一項所述的角速度傳感器裝置，還包括至少設置在驅動和感測裝置中每一個之間的電屏蔽裝置，該屏蔽裝置接地從而使驅動和感測裝置相互電屏蔽。

13.如前面權利要求中任一項所述的角速度傳感器裝置，還包括由電絕緣材料例如玻璃制成的基底。

14.如前面權利要求中任一項所述的角速度傳感器裝置，其中所述模式參數包括用于該振動模式對的晶體硅片的楊氏模量。

15.如前面權利要求中任一項所述的角速度傳感器裝置，其中所述諧振器包括微型機加工振動結構陀螺儀。

16.一種包括如前面權利要求中任一項所述的角速度裝置的硅晶片。

17.一種基本上如上參照附圖中的圖3a、3b、4和5所述的角速度傳感器裝置或硅晶片。