[發明專利]感光性樹脂組合物有效
| 申請號： | 01803259.1 | 申請日： | 2001-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN1394296A | 公開（公告）日： | 2003-01-29 |
| 發明（設計）人： | 高橋修一;池本準;鹽田英和;河戶俊二 | 申請（專利權）人： | 克拉瑞特國際有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/022 | 分類號： | G03F7/022;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三幸商標專利事務所 | 代理人： | 劉激揚 |
| 地址： | 瑞士*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 樹脂 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種感光性樹脂組合物，其包含一種堿溶性樹脂與一種含醌二疊氮化物基團的光敏劑，其中，所述光敏劑包含具有不同平均酯化率的兩種或多種酯的混合物，所述酯為由四羥基二苯甲酮與1，2-萘醌二疊氮化物磺酸形成的酯化產物。
2.根據權利要求1的感光性樹脂組合物，其中，所述光敏劑是光敏劑A與光敏劑B的混合物，所述光敏劑A包含由四羥基二苯甲酮與1，2-萘醌二疊氮化物磺酸形成的平均酯化率為X％的酯化產物，其中，50≤X≤100，光敏劑B包含由四羥基二苯甲酮與1，2-萘醌二疊氮化物磺酸形成的平均酯化率為Y％的酯化產物，其中，25≤Y≤(X-10)，混合比例A∶B為10-90∶90-10。
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