[發明專利]圖像數據文件管理系統及方法

無效

• 申請號: 01802793.8
• 申請日: 2001-09-17
• 公開（公告）號: CN1392999A
• 公開（公告）日: 2003-01-22
• 發明（設計）人: 三浦靖忠;田中利彥
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯光學工業株式會社
• 主分類號: G06T1/00
• 分類號: G06T1/00;G01B11/30;G01N21/956
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 黃劍鋒

技術領域

本發明涉及管理由檢測裝置等攝像的圖像數據的圖像數據文件管理系統及方法。

背景技術

例如，作為半導體晶片等的缺陷檢測裝置，利用攝像部對晶片面進行攝像、由計算機對攝像的圖像進行圖像處理以提取出缺陷、將這些圖像處理過的圖像數據存儲到存儲部中的裝置正在被實用化。

并且，在這種缺陷檢測裝置中，由于通過圖像處理提取出的數據量增大，所以考慮將其與具有備份功能的圖像服務器連接、將圖像數據文件存儲到圖像服務器中。

但是，在過去所考慮的圖像數據文件存儲方法中，為了將缺陷檢測裝置存儲部的圖像數據原封不動地存儲到圖像服務器側的備份部中，服務器必須要有很大的存儲容量，在經濟上是不利的。并且，對于存儲在服務器側的圖像數據文件的管理，存在由于考慮不周而難以有效利用備份數據的問題。

本發明的目的是提供一種可以有效進行圖像數據管理的圖像數據文件管理系統及方法。

發明的概述

本發明的圖像數據文件管理系統，包括：獲取被測物的圖像的攝像部、對由該攝像部攝像的圖像數據進行圖像處理并獲得檢測結果的檢測部、以對應于前述檢測結果的壓縮率壓縮前述圖像數據的壓縮部、保存從該壓縮部輸出的圖像數據的圖像服務器。

附圖的簡單說明

圖1是表示根據本發明的第一個實施形式的圖像數據文件管理系統的大致結構的圖示。

圖2是表示根據本發明的第一個實施形式的檢測裝置側的檢測處理程序的流程圖。

圖3A是詳細表示根據本發明第一個實施形式的結果保存處理程序的流程圖。

圖3B是表示根據本發明第一個實施形式的圖像數據的壓縮處理程序的流程圖。

圖4是用于說明根據本發明第一個實施形式的圖像數據的壓縮保存的圖示。

圖5是用于說明根據本發明第一個實施形式的圖像數據的壓縮保存的圖示。

圖6是表示根據本發明的第一個實施形式的在服務器側的處理程序的流程圖。

圖7是表示關于記錄到根據本發明第一個實施形式的數據庫中的圖像數據的記錄的圖示。

圖8A～圖8E是表示記錄到根據本發明第一個實施形式的數據庫中的各記錄的圖示。

圖9是表示根據本發明第一個實施形式的檢測圖像的一覽顯示的例子的圖示。

圖10是表示根據本發明第二個實施形式的圖像數據文件管理系統的大致結構的圖示。

圖11是表示根據本發明第二個實施形式的檢測結果文件的一個例子的圖示。

圖12是表示關于記錄到根據本發明第二個實施形式的數據庫中的圖像數據的記錄的圖示。

圖13是表示關于根據本發明第二個實施形式的與圖12所示的記錄鏈接的圖像數據的記錄的圖示。

圖14是表示在根據本發明第二個實施形式的檢索終端顯示部中的第一顯示例的圖示。

圖15是表示在根據本發明的第二個實施形式的檢索終端顯示部中的第二顯示例的圖示。

圖16是表示在根據本發明第二個實施形式的檢索終端顯示部中的第三顯示例的圖示。

圖17是表示在根據本發明第二個實施形式的檢索終端顯示部中的第四顯示例的圖示。

圖18是表示在根據本發明第二個實施形式的檢索終端顯示部中的第五顯示例的圖示。

圖19是表示根據本發明第二個實施形式的晶片圖像顯示的變形例的圖示。

實施發明的最佳形式

以下，參照附圖說明本發明的實施形式。

圖1是表示根據本發明第一實施形式的圖像數據文件管理系統的大致結構的圖示。在圖1中，作為客戶(client)裝置的多個(在圖中所示的例子中共四臺)檢測裝置1(#1～#4)執行在半導體晶片生產線的前序工序、后序工序的各階段中的宏觀檢測、圖形檢測、顯微鏡檢測、SEM檢測等各種檢測。檢測裝置1是例如由圖中未示出的攝像部對晶片面進行攝像、并對攝像出的圖像進行圖像處理、檢測出缺陷部的缺陷檢測裝置。各檢測裝置1(#1～#4)配置在凈化室2內。

并且，各檢測裝置1(#1～#4)連接到通信用的LAN3上。LAN3進一步連接到圖像服務器部4和檢索終端5上。圖像服務器部4具有備份裝置41、數據庫42、硬盤43和服務器主體44。檢索終端5配置在凈化室2之外，檢索圖像服務器部4的存儲內容。

在形成上述結構的圖像數據文件管理系統中，由各檢測裝置1對作為檢測對象的晶片(檢測用晶片)進行宏觀檢測、圖形檢測、顯微鏡檢測、SEM檢測等缺陷檢測處理。例如，#1是宏觀檢測裝置、#2是圖形檢測裝置、#3是顯微鏡檢測裝置、#4是SEM檢測裝置。