[發(fā)明專利]檢查部件及基板的制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 01802704.0
• 申請日: 2001-09-25
• 公開（公告）號: CN1388900A
• 公開（公告）日: 2003-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 岡野幸兒;石岡圣悟
• 申請（專利權(quán)）人: OHT株式會社
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02;G01R1/06;H05K3/00
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍淳,沙捷

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于檢查電路連接線的檢查部件等。

背景技術(shù)

在檢查電路板上的電路連接線(導(dǎo)電圖案)的斷線、短路等問題的情況下，采用向電路連接線供給檢查信號、并在電路連接線的端部將檢查信號檢測、并對其進(jìn)行分析的方法。

對電路連接線供給并檢測檢查信號的方法，大致可分為兩類：與電路連接線相接觸而供給、檢測檢查信號的接觸式、以及不接觸電路連接線而檢測檢查信號的非接觸式。

接觸式的檢查方法是眾所周知的，由具有導(dǎo)電性的探頭器件構(gòu)成的探針(Probe)與電路連接線接觸，通過該探針進(jìn)行檢查信號的供給、檢測等。

另一方面，非接觸式的檢查方法，大致分為兩種：一種為通過電路連接線和感應(yīng)電極之間的電容耦合，對供給至電路連接線的檢查信號進(jìn)行檢測；另一種則是對供給至電路連接線的檢查信號所產(chǎn)生的電磁場進(jìn)行檢測。

參照圖8說明前者按照電容耦合進(jìn)行檢查的原理。圖8(a)是表示電容耦合的檢查原理。

由信號源102向作為檢查對象的電路連接線100的一個端部供給檢查信號。而在電路連接線100的另一端部配置有未接觸于電路連接線100的電極101。因為信號源102產(chǎn)生交流信號作為檢查信號，所以將交流信號供給至作為檢查對象的電路連接線100。而且，采用隨時間變化的信號(例如：電壓變化的頻率為在1kHz～10MHz之間)作為檢查信號，另外也可采用脈沖狀信號代替交流信號。

在此，電極101和電路連接線100的另一個端部，處于電性的電容耦合狀態(tài)，構(gòu)成電容。從而，圖8(a)的等效電路就成為圖8(b)。因此，例如電路連接線100沒有發(fā)生斷線的話，由信號源102供給至電路連接線100的檢查信號的相應(yīng)信號就會出現(xiàn)在電極101，可以檢測到檢查信號，但是若電路連接線100斷線的話，電極101上就幾乎沒有信號出現(xiàn)，由此，可判定電路連接線100是否有斷線。

而且，上述電極101，雖然是專門用來檢測檢查信號的，只要把信號源102連接在電極101上，即可按照同樣的原理，將檢查信號供給至電路連接線100。即，電極101可以用于檢查信號的檢測，也可用于供給檢查信號。

該檢查方式優(yōu)點為：因為并未接觸電路連接線，所以不會對電路連接線造成損傷，并且，也能夠適應(yīng)細(xì)微的電路連接線。

下面，參照圖9和圖10說明檢測電磁場的檢查原理。圖9和圖10，是表示該檢查原理的圖。

通常在將作為檢查對象的電路連接線端部連接于稱為短路棒等的短路連接線的情況下，采用檢測電磁場的檢查方式。在圖9中，作為檢查對象的電路連接線112的端部連接于短路連接線111。

在此，如圖9所示，若在相鄰連接的2個電路連接線112之間賦予電位差，就會產(chǎn)生電流113，流經(jīng)這些電路連接線112和短路連接線111。于是，被這些電路連接線112和短路連接線111圍成大致コ字型的區(qū)域內(nèi)，因電流113而產(chǎn)生電磁場114。

而且，使用線圈、霍爾器件等所構(gòu)成的磁性感應(yīng)器檢測該電磁場114，由此檢查賦予電位差的兩電路連接線112的缺陷。具體地說，例如，如圖10所示，電路連接線112之間，若發(fā)生因線115而短路之類的缺陷，圖9的電流113就會分流到線115，造成電流113a和113b流動，因此產(chǎn)生對應(yīng)于此的電磁場114a和114b。

此時，電路連接線發(fā)生缺陷的圖10的電磁場114a或者電磁場114b、和正常的圖9的電磁場114相比較，因為前者的電流113a或者電流113b比較小，所以其電磁場也比較弱。因此，只要對作為檢查對象的兩個電路連接線112和短路連接線111所大致包圍的區(qū)域內(nèi)的電磁場強度、分布等進(jìn)行檢測，由此可檢測出電路連接線是否發(fā)生缺陷。

這樣，電路連接線的檢查方法，已經(jīng)有各種提案，按照所檢查電路連接線的不同而使用不同的檢查方法。

另一方面，在實施這些電路連接線的檢查方法時，與所檢查的電路連接線相對應(yīng)，使用被稱為’夾具’的檢查部件，其配置有探針、電極等，在合并數(shù)種檢查方法的情況下，使用含有需要的探針、電極等混合存在的檢查部件。圖7(a)是現(xiàn)有技術(shù)的檢查部件200的示意圖，檢查部件200具有接觸檢查用的探針、和非接觸檢查中的利用電容耦合的檢查用的電極。

檢查部件200具備有：基礎(chǔ)基盤201；堆棧在基礎(chǔ)基盤201上的加強板202；突出于加強板202表面的多個探針部203；設(shè)置在加強板202表面的電極部204。作為檢查對象的電路基板被放置在基盤202上，檢查部件200的定位插銷205插入電路基板206上的孔穴內(nèi)，由此，可使檢查部件200配置在電路基板上。