[發明專利]檢查裝置及檢查方法

無效

• 申請號: 01802592.7
• 申請日: 2001-09-10
• 公開（公告）號: CN1388899A
• 公開（公告）日: 2003-01-01
• 發明（設計）人: 岡野幸兒;石岡圣悟
• 申請（專利權）人: OHT株式會社
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍淳,沙捷

技術領域

本發明涉及電路連接線的檢查技術。

背景技術

在檢查電路襯底上的電路連接線(導電圖案)的斷線時，一般采用將檢查信號供給到電路連接線、在電路連接線的端部等檢測該信號并加以分析的方法。在此，作為在電路連接線的端部等檢測檢查信號的方法，人們提出了使用探針接觸電路連接線的接觸式和使用非接觸傳感器檢測電路連接線的非接觸式。

所謂非接觸式檢查，是指將隨時間變化的檢查信號供給到電路連接線，通過介于電路連接線和非接觸傳感器之間的靜電電容檢測出顯現于該傳感器的信號，以檢查該電路連接線的斷線等的方法，作為非接觸傳感器來說，例如有人建議由具有導電性的金屬板等構成的電極，或由半導體組件等構成的電極。

如此的非接觸式檢查，其優點在于：由于未接觸電路連接線，所以幾乎不會導致損傷，而且，還可適應于微細間距的電路連接線。

作為非接觸式檢查的一例，例如有(日本專利)特開平10-239371號公報的記載。在該公報中記載一種發明，認為問題之一是如果采用非接觸傳感器來檢查中途有分支的電路連接線時，無法準確判定是否有斷線，為解決此問題，在分支的電路連接線的各端部分別布置非接觸傳感器，判定是否有斷線。

但是，根據(日本專利)特開平10-239371號發明，由于在分支的各電路連接線端部分別布置非接觸傳感器，需要相當于分支數量的非接觸傳感器，導致非接觸傳感器的數量增加的傾向。因此，易導致檢查裝置的成本提高。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種檢查裝置及檢查方法，可使用較少數量的非接觸傳感器，針對中途分支的電路連接線或其混合電路連接線進行檢查。

本發明提供一種檢查裝置，用于檢查具有3個以上端部的分支電路連接線，其特征在于：包括：

向所述分支電路連接線的一個端部供給所述檢查信號的供給機構；

在所述分支電路連接線的其它端部、以非接觸方式在該分支電路連接線上檢測所述檢查信號的非接觸傳感器；以及

根據所述非接觸傳感器檢測出的所述檢查信號來判定所述分支電路連接線上有無斷線的判定機構；

對至少1個所述非接觸傳感器，分配2個所述其它端部，

所述判定機構，針對由分配2個所述其它端部的所述非接觸傳感器檢測出的所述檢查信號，對該檢查信號的強度與給定的閾值進行比較，判定所述分支電路連接線有無發生斷線。

并且，本發明提供一種檢查裝置，用于檢查具有3個以上端部的分支電路連接線和具有2個端部的單一電路連接線所混合存在的電路連接線，其特征在于：包括：

向所述分支電路連接線的一個端部及所述單一電路連接線的一個端部供給檢查信號的供給機構；

在所述分支電路連接線的其它端部或所述單一電路連接線的另一端部、以非接觸方式在該分支電路連接線或該單一電路連接線上檢測所述檢查信號的非接觸傳感器；以及

根據所述非接觸傳感器檢測出的所述檢查信號來判定所述分支電路連接線或所述單一電路連接線上有無斷線的判定機構；

對至少1個所述非接觸傳感器，分配1個分支電路連接線的所述其它端部和1個或多個所述單一電路連接線的另一端部。

并且，本發明提供一種檢查裝置，用于檢查具有3個以上端部的分支電路連接線和具有2個端部的單一電路連接線所混合存在的電路連接線，其特征在于：包括：

向所述分支電路連接線的一個端部及所述單一電路連接線的一個端部供給檢查信號的供給機構；

在所述分支電路連接線的其它端部或所述單一電路連接線的另一端部、以非接觸方式在該分支電路連接線或該單一電路連接線上檢測所述檢查信號的非接觸傳感器；以及

根據所述非接觸傳感器檢測出的所述檢查信號來判定所述分支電路連接線或所述單一電路連接線上有無斷線的判定機構；

對至少1個所述非接觸傳感器，分配2個分支電路連接線的所述其它端部和1個或多個所述單一電路連接線的另一端部，

所述判定機構，針對由分配2個所述其它端部的所述非接觸傳感器檢測出的所述檢查信號，對該檢查信號的強度與給定的閾值進行比較，判定所述分支電路連接線有無發生斷線。

并且，本發明提供一種檢查裝置，用于檢查具有3個以上端部的分支電路連接線和具有2個端部的單一電路連接線所混合存在的電路連接線，其特征在于：包括：

向所述分支電路連接線的一個端部及所述單一電路連接線的一個端部供給檢查信號的供給機構；