[發明專利]制作光學可掃描信息載體的方法

無效

• 申請號: 01802317.7
• 申請日: 2001-07-23
• 公開（公告）號: CN1386273A
• 公開（公告）日: 2002-12-18
• 發明（設計）人: H·范桑藤;G·E·范羅斯馬倫
• 申請（專利權）人: 皇家菲利浦電子有限公司
• 主分類號: G11B7/26
• 分類號: G11B7/26;G11B7/12
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 吳立明,梁永

1.一種制作光學可掃描信息載體的方法，該方法包含第一步，其中制作主模，和第二步，其中借助主模或借助利用所述由主模制作的子模借助復制過程制作信息載體，在其第一步中，借助經過調制的輻射束對設置在基板上的感光層輻照，借助光學透鏡系統在感光層上將該輻射束聚焦成掃描點，基板和透鏡系統被彼此相對移動，在位于感光層和面對所述感光層的透鏡系統的透鏡之間的間隙提供有液體，其特征在于：液體經過流出口被提供，沿與透鏡系統相關的掃描點位置的基板平移方向觀察時，它是處于掃描點的上游并且直接與所述透鏡相鄰近，所述流出口設置在壁內，其基本上延伸在虛平面內，因此，在透鏡面對感光層的一側延伸。

2.一種制作用于制作光學可掃描信息載體的主模的方法，根據此方法，借助經過調制的輻射束對設置在基板上的感光層輻照，用光學透鏡系統在感光層上將該輻射束聚焦成掃描點，基板和透鏡系統被彼此相對移動，在位于感光層和面對所述感光層的透鏡系統的透鏡之間的間隙中提供有液體，其特征在于：液體經過流出口被提供，沿與透鏡系統相關的掃描點位置的基板平移方向觀察時，它是處于掃描點的上游并且直接與所述透鏡相鄰近，所述流出口設置在壁內，其基本上延伸在虛平面內，因此，在透鏡面對感光層的一側延伸。

3.如權利要求1或2所要求的方法，其特征在于：該基板是盤形的，圍繞垂直于基板延伸的旋轉軸旋轉，而透鏡系統基本上沿相對于旋轉軸的徑向平移，沿相對于旋轉軸的切線方向觀察時，經過流出口提供的液體在掃描點的上游。

4.如權利要求1或2所權利要求的方法，其特征在于：以速率＝0,5^*V^*H^*W提供經過流出口的液體，其中W至少等于2^*H^*NA/√(n²-NA²)，V是相對于透鏡系統在掃描點處基板的平移速度，H間隙的高度尺寸，W是沿垂直于該平移方向觀察時，液體擴散進入間隙的寬度，NA是透鏡系統的數值孔徑，和n是液體的光學折射率。

5.如權利要求4所要求的方法，其特征在于：W至多為大約10*H。

6.如權利要求4所要求的方法，其特征在于：高度H至少為大約4μm，并且至多為大約100μm。

7.如權利要求6所要求的方法，其特征在于：高度H至少為大約7μm，并且至多為大約10μm。

8.如權利要求4所要求的方法，其特征在于：該流出口是圓的，并且其直徑至多為大約0,5*W。

9.如權利要求1或2所要求的方法，其特征在于：沿著該平移方向觀察，從感光層抽取的液體位于透鏡系統的下游。

10.一種用于制作主模的裝置，該主模用于制作光學可掃描信息載體，該裝置設置有可以圍繞旋轉軸旋轉的工作臺，在該工作臺上可以放置帶感光層的基板，以及輻射源，光學透鏡系統用于將在操作過程中輻射源所產生的輻射束在感光層上聚焦成為掃描點，平移設備，該設備可以相對于主要沿徑向的旋轉軸平移透鏡系統，液體供應設備，該設備在位于感光層與面對所述感光層的透鏡系統的透鏡之間間隙提供液體，該制作主模裝置的特征在于：該液體供應設備包括流出口，沿相對于旋轉軸切線方向觀察，它被安置于光學軸的上游，并且直接與所述透鏡相鄰近，位于壁內的所述流出口基本在一個虛平面內延伸，在其中面對感光層透鏡的一側延伸。

11.如權利要求10所要求的方法，其特征在于：在操作過程中，在間隙內，提供經過流出口的液體流，其流動速率為＝0,5^*V^*H^*W，此處W至少等于2^*H^*NA/√(n²-NA²)，和V是相對于透鏡系統在光學軸位置基板的速度，H間隙的高度尺寸，W是沿徑向觀察的液體流的寬度，NA是透鏡系統的數值孔徑，和n是液體的光學折射率。

12.如權利要求11所要求的裝置，其特征在于：寬度W至多為是大約10*H。

13.如權利要求11所權利要求的裝置，其特征在于：高度H至少為大約4μm，并且至多為大約100μm。