[發明專利]用于測量電子器件參數的方法及設備有效
| 申請號： | 01802316.9 | 申請日： | 2001-07-20 |
| 公開（公告）號： | CN1421047A | 公開（公告）日： | 2003-05-28 |
| 發明（設計）人： | L·布爾迪永 | 申請（專利權）人： | 皇家菲利浦電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L27/07 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,陳霽 |
| 地址： | 荷蘭艾*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 測量 電子器件 參數 方法 設備 | ||
【權利要求書】：
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