[發(fā)明專利]導(dǎo)電性接觸件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 01802211.1
• 申請日: 2001-06-28
• 公開（公告）號: CN1386197A
• 公開（公告）日: 2002-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 風間俊男
• 申請（專利權(quán)）人: 日本發(fā)條株式會社
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;H01L21/66;H01R13/24;H01R33/76
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務(wù)所
• 代理人: 王永剛

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及到一種適用于半導(dǎo)體器件領(lǐng)域的測試和其它應(yīng)用的導(dǎo)電性接觸件。

發(fā)明背景

一般地，各種各樣的導(dǎo)電性接觸件已經(jīng)在如下方面得到應(yīng)用：對印刷電路板和電子元件的導(dǎo)電圖形進行電學(xué)測試(開/短路測試、環(huán)境測試、老化測試等等)，以及用在測試晶片和電接頭的接觸探頭上。

對于這樣的導(dǎo)電性接觸件，當待測目標(例如半導(dǎo)體器件的接頭)的接觸部分是用焊料制成或是被焊料覆蓋時，導(dǎo)電性接觸件在這種接頭上的重復(fù)使用會導(dǎo)致其尖端產(chǎn)生焊料沉積，該尖端呈針狀或線圈狀。

通常，導(dǎo)電性接觸件要經(jīng)過表面鍍金處理(其中摻入例如0.3％～4％的鈷)，以保證穩(wěn)定的電學(xué)性能和低的電阻。然而，在上述的焊料沉積過程中，導(dǎo)電性接觸件導(dǎo)電通路上的電阻就會偏離期望的范圍，測試的精度就有可能受損。因此，有必要在測試精度降到規(guī)定水平之前更換導(dǎo)電性接觸件。其結(jié)果是，導(dǎo)電性接觸件必須經(jīng)常被更換下來進行清潔，以至于測試線的效率降低，保養(yǎng)費用增加。

發(fā)明簡述

為消除現(xiàn)有技術(shù)的這些問題，本發(fā)明的主要目的就在于提供一種導(dǎo)電性接觸件，相對于傳統(tǒng)的導(dǎo)電性接觸件來說，它因焊料沉積而造成的更換次數(shù)要少得多。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種導(dǎo)電性接觸件，它在長時間后仍顯示出低的電阻，從而它的使用壽命比傳統(tǒng)的導(dǎo)電性接觸件更長。

本發(fā)明的又一目的在于提供一種導(dǎo)電性接觸件，它具有能夠耐焊料沉積的接觸部分。

根據(jù)本發(fā)明，這些目的可以通過提供一種應(yīng)用到待接觸目標上建立電接觸的導(dǎo)電性接觸件而達到，該導(dǎo)電性接觸件包括一層至少是在其導(dǎo)電接觸部分形成的耐焊料沉積的高導(dǎo)電性材料層。高導(dǎo)電性材料層可以優(yōu)選地用電鍍法形成，也可以用其它方法，其中包括但不限于無電電鍍法、濺射法、PVD、CVD和熱噴鍍法等。優(yōu)選地，高導(dǎo)電性材料基本上由金構(gòu)成，并摻有0.01％～8％的銀。導(dǎo)電性接觸件可以呈螺簧狀、針狀或棒狀，它的端部可以是尖的或平的。

這樣，由于這種對焊料沉積的耐受性，即使被重復(fù)應(yīng)用到待接觸目標上，導(dǎo)電性接觸部分上的焊料沉積也將減至最小程度，導(dǎo)電性接觸部分的更換頻率也能降低。而且，盡管導(dǎo)電性接觸件的基本材料可能由具有良好力學(xué)性能的廉價材料組成，例如鋼，即使在穩(wěn)定狀態(tài)下經(jīng)過大量的測試周期或很長的工作時間之后，導(dǎo)電性接觸件依然能夠持續(xù)地顯示出低的電阻。

附圖簡述

下面參考附圖更詳細地介紹本發(fā)明。其中：

圖1為一個電接觸探頭的縱剖面圖，該探頭使用了實施本發(fā)明的螺簧狀導(dǎo)電性接觸件。

圖2為一線圈線的截斷透視圖，線圈線上形成了一層摻銀鍍金層。

圖3為圖2中的線圈線繞制起來之后的截斷透視圖。

圖4為在圖3中的裝置上形成第二層摻銀鍍金層之后的截斷透視圖。

圖5類似于圖1，示出了該接觸探頭的工作狀態(tài)。

圖6類似于圖1，示出了本發(fā)明的第二種實施方案。

圖7是一張放大的剖面圖，示出了該導(dǎo)電性接觸件頭部的狀態(tài)，其上形成了一層摻銀鍍金層。

圖8類似于圖5，示出了圖6中接觸探頭的工作狀態(tài)。

圖9類似于圖7，示出了該接觸探頭的一種變更實施方案，其末端是平的。

圖10類似于圖1，示出了本發(fā)明的第三種實施方案。

圖11類似于圖1，示出了本發(fā)明的第四種實施方案。

圖12類似于圖1，示出了本發(fā)明的第五種實施方案。

圖13類似于圖1，示出了本發(fā)明的第六種實施方案。

具體實施方案詳述

圖1是實施了本發(fā)明的導(dǎo)電性接觸件3基本部分放大的剖面?zhèn)纫晥D)，該導(dǎo)電性接觸件用在接觸半導(dǎo)體器件用的接觸探頭上。在所示的導(dǎo)電探頭中，一對塑料的絕緣板狀構(gòu)件1a和1b緊密地堆疊起來，組成一個整體，形成了電絕緣支架1，通孔2(圖中僅示出其中的一個)穿過支架1的整個厚度。每個通孔2中同軸地容納了一個螺簧狀導(dǎo)電性接觸件3。

通孔2具有：位于其軸向的中部的垂直主體部分，具有恒定的直徑和規(guī)定的長度；還有一對錐形部分2a，它們各有一個較窄的尾端，分別開向支架1的上端或下端，如圖所示。每個錐形部分2a縮小的開口端通過一小直徑部分2b與通孔2的外表相通，小直徑部分2b具有恒定的直徑和規(guī)定的長度。