[發(fā)明專利]用于涂膜層顯影的表面活性劑水溶液

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 01802203.0
• 申請日: 2001-07-19
• 公開（公告）號: CN1386214A
• 公開（公告）日: 2002-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 神田崇
• 申請（專利權(quán)）人: 克拉瑞特國際有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32;C11D3/16
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務(wù)所
• 代理人: 劉激揚

1.一種用于涂層顯影的表面活性劑水溶液，包括表面活性劑和水或水與有機溶劑的混合物，其特征在于所述表面活性劑包括至少一種選自下面的物質(zhì)：

N-?；“彼猁}、N-?；?N-甲基丙氨酸鹽、N-?；；撬猁}、N-?；?N-甲基牛磺酸鹽、脂肪酸烷基醇酰胺和脂肪酸烷基醇酰胺聚氧化乙烯加成物。

2.如權(quán)利要求1所述的用于涂層顯影的表面活性劑水溶液，其特征在于所述表面活性劑的?；奶荚訑?shù)目是10-14。

3.如權(quán)利要求1或2所述的用于涂層顯影的表面活性劑水溶液，其特征在于所述表面活性劑的至少一種選自N-月桂酰基肌氨酸鹽、N-月桂酰基-N-甲基丙氨酸鹽、N-月桂酰基?；撬猁}和N-月桂?；?N-甲基牛磺酸鹽。

4.如權(quán)利要求1所述的用于涂層顯影的表面活性劑水溶液，其特征在于所述N-酰基肌氨酸鹽、N-?；?N-甲基丙氨酸鹽、N-酰基牛磺酸鹽和N-酰基-N-甲基?；撬猁}的抗衡離子是有機胺或有機胺鹽。

5.如權(quán)利要求1或2所述的用于涂層顯影的表面活性劑水溶液，其特征在于所述脂肪酸烷基醇酰胺或脂肪酸烷基醇酰胺聚氧化乙烯加成物的脂肪酸碳原子數(shù)目是6-22，其烷基醇基團的碳原子數(shù)目是1-3，脂肪酸烷基醇酰胺聚氧化乙烯加成物的聚氧化乙烯鏈重復(fù)單元的數(shù)目是10或更小。

6.如權(quán)利要求1～5中任一項所述的用于涂層顯影的表面活性劑水溶液，其特征在于所述表面活性劑的濃度是0.01-10.0重量％。

7.如權(quán)利要求1～6中任一項所述的用于涂層顯影的表面活性劑水溶液，其特征在于所述有機溶劑至少包括選自下面的一種：具有1-8個碳原子的飽和或不飽和的醇、具有2或3個羥基的飽和多元醇、具有1-3個碳原子的飽和或不飽和的烷基胺和具有1-3個碳原子的飽和或不飽和的烷基醇胺。

8.如權(quán)利要求1～7中任一項所述的用于涂層顯影的表面活性劑水溶液，其特征在于所述水和有機溶劑以80∶20-99∶1的水對有機溶劑的比例混合。

9.一種形成圖案的方法，包括在抗蝕圖案上形成涂層，通過涂層的交聯(lián)將抗蝕圖案變厚，用顯影劑除去未交聯(lián)的涂層，有效地使圖案更為精細，其特征在于如權(quán)利要求1～8中任一項所述的用于涂層顯影的表面活性劑水溶液被用作顯影劑。