[發明專利]具有交替極化區域的聲波器件

無效

• 申請號: 01802026.7
• 申請日: 2001-07-10
• 公開（公告）號: CN1386321A
• 公開（公告）日: 2002-12-18
• 發明（設計）人: 西爾萬·巴朗德拉;布里塞·戈蒂埃;達尼埃爾·豪德恩;讓－克洛德·拉布呂納
• 申請（專利權）人: 塔萊斯公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/145
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 蔡洪貴

1、一種聲波器件，包括鐵電材料層(C)和基片(S)，其特征在于，鐵電材料層位于淀積在基片的表面上或者是基片的組成部分的第一電極(E₁)和第二電極(E₂)之間，鐵電材料層包括正的第一極化區域(D₁)和負的第二極化區域(D₂)。

2、如權利要求1所述的聲波器件，其特征在于，第二電極淀積在鐵電材料層的表面上。

3、如權利要求1所述的聲波器件，其特征在于，它包括一個位于基片上的蓋(CL)，所述蓋具有第二電極，以便在所述第二電極和鐵電材料層之間形成一個空間。

4、如權利要求3所述的聲波器件，其特征在于，所述蓋能夠從鐵電材料層上取下。

5、如權利要求1至4任一所述的聲波器件，其特征在于，它包括非極化的第三區域(D₃)，以便影響聲波的方向性。

6、如權利要求1至5任一所述的聲波器件，其特征在于，它包括一系列具有第一區域和第二區域的線性區域。

7、如權利要求6所述的聲波器件，其特征在于，所述一系列線性區域還包括非極化區域。

8、如權利要求1至5任一所述的聲波器件，其特征在于，它包括第一區域和第二區域的矩陣布置。

9、如權利要求8所述的聲波器件，其特征在于，它還包括非極化區域。

10、如權利要求1至9任一所述的聲波器件，其特征在于，鐵電材料是鉛鈦鋯氧化物。

11、如權利要求10所述的聲波器件，其特征在于，鐵電材料是鉑/鈦合金。

12、如前述任一權利要求所述的聲波器件，其特征在于，基片由硅制成。

13、如前述任一權利要求所述的聲波器件，其特征在于，第二電極由鋁制成。

14、如權利要求10至13任一所述的聲波器件，其特征在于，它包括至少一個電極，其表面是由滿足等式y＝f(x)的兩個參數限定的，其中f是一個實函數。

15、如權利要求10至13任一所述的聲波器件，其特征在于，在鐵電材料層的平面中的空間極化分布遵循一個幾何定律，使得所形成的極化表面是由滿足等式y＝(x)的兩個參數限定的，其中f是一個實函數。

16、一種用于制造如權利要求1至15任一所述的表面波器件的方法，其特征在于，它包括如下步驟：

在具有第一電極的基片表面上形成鐵電材料層；

通過施加一個比鐵電材料的矯頑場大的電場在鐵電材料層中形成正、負極化區域，鐵電材料的極性決定區域的極化方向；以及

與鐵電材料相對地形成第二電極。

17、如權利要求16所述的用于制造表面波器件的方法，其特征在于，第二電極形成在鐵電材料層的表面上。

18、如權利要求16所述的用于制造表面波器件的方法，其特征在于，第二電極由固定到基片上的蓋支撐。