[實用新型]方便組裝的多功能真空晶體生長裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 01276500.7
• 申請日: 2001-12-29
• 公開（公告）號: CN2515209Y
• 公開（公告）日: 2002-10-09
• 發(fā)明（設計）人: 李碚
• 申請（專利權）人: 李碚
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00
• 代理公司: 臺州市方圓專利事務所
• 代理人: 蔡正保

1、一種方便組裝的多功能真空晶體生長裝置，包括安裝在爐架(4)上的真空-惰性氣體裝置(1)、控制系統(tǒng)(7)、罐形爐體(3-3)內裝入中部套有一環(huán)形加熱器(2-2)的爐料處理裝置(5)，該裝置自上而下由水冷頭(5-4)、夾持頭(5-3)、坩堝(5-2)、冷卻器(5-6)、冷卻器支架(5-7)組裝而成，坩堝(5-2)內可容放爐料(5-1)；由電機(6-1)驅動的驅動桿(6-3)伸入爐體，并且與水冷頭(5-4)連接，帶動坩堝(5-2)軸向移動并繞軸旋轉，驅動桿(6-3)管內構成循環(huán)水通道，其特征在于爐體(3-3)通過與真空-惰性氣體裝置連通的組裝座(3-1)安裝在爐架(4)上。

2、根據(jù)權利要求1所述的真空晶體生長裝置，其特征在于組裝座(3-1)呈四通結構，其上端口與爐體(3-3)底端連通，其兩側各與一真空閥(1-9)、(1-12)連通，其下端通過可供驅動桿(6-3)伸入的下蓋板(3-5)安裝在爐架(4)上。

3、根據(jù)權利要求2所述的真空晶體生長裝置，其特征在于組裝座(3-1)上端口可通過一平板法蘭(3-2)與爐體(3-3)底端連接。

4、根據(jù)權利要求2所述的真空晶體生長裝置，其特征在于組裝座(3-1)上端口和/或下端口串接爐體延長室(3-6)。

5、根據(jù)權利要求4所述的真空晶體生長裝置，其特征在于爐體延長室(3-6)可安裝在爐體(3-3)頂端。