[實用新型]一種凸非球面檢驗干涉儀無效
| 申請號： | 01272267.7 | 申請日： | 2001-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN2513076Y | 公開（公告）日： | 2002-09-25 |
| 發明（設計）人： | 李鳳有;盧振武 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01B9/02 | 分類號： | G01B9/02;G02B3/02 |
| 代理公司： | 長春科宇專利代理有限責任公司 | 代理人： | 劉樹清 |
| 地址： | 130022 *** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 球面 檢驗 干涉儀 | ||
【權利要求書】：
1、一種凸非球面檢驗干涉儀，是由激光光源、半反射平面鏡、照明透鏡、檢驗樣板、待檢非球面、光闌、成像透鏡、CCD相機組成的，其特征在于在光路上照明透鏡(11)和待檢凸非球面(13)之間的檢驗樣板采用位相型折衍混合檢驗樣板(12)。
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