[實用新型]一種測量真空紫外用熒光粉光學參數的裝置

無效

• 申請號: 01254249.0
• 申請日: 2001-10-18
• 公開（公告）號: CN2505832Y
• 公開（公告）日: 2002-08-14
• 發明（設計）人: 牟同升;洪廣言;王建平;王立昌
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G01N21/62
• 分類號: G01N21/62;G01N21/63
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司
• 代理人: 韓介梅

????????????????????????技術領域

本實用新型涉及一種測量真空紫外用熒光粉光學參數的裝置。

????????????????????????背景技術

高清晰度大屏幕平板顯示已成為當前信息技術發展的熱點和趨勢，采用高能量的真空紫外激發的彩色等離子體平板顯示(簡稱PDP)，已經成為大屏幕平板顯示的佼佼者，也使掛壁彩電成為現實。PDP所用的關鍵材料之一是熒光粉，由于PDP技術的迅猛突起，所用的熒光粉及其相應的測試急待完善。

由于PDP熒光粉采用光子能量較強的真空紫外線激發，而通常所用的光譜和光學參數測量儀器是在紫外一可見區，因此，無法使用。目前，可以用于測量真空紫外用熒光粉光學參數的方法，文獻中主要有三種。一是在高能同步輻射加速器上，利用某一節點輸出的真空紫外光激發熒光粉發光，再經光譜儀測量熒光粉的發射光譜。此法不僅需要用同步加速器，而且要附加一整套光學引出系統，因此結構復雜，體積龐大，價格極其昂貴，難以在實際生產中獲得應用；二是可利用高溫等離子體輻射源，在不斷注入所需惰性氣體并使其處于高溫等離子體狀態下電離，并發射出所需的真空紫外光，激發熒光粉發光，再經光譜儀測量熒光粉光譜數據。此法的系統也較龐大，且需不斷注入惰性氣體和形成高溫等離子體，在實際應用中也有許多不便；第三種方法是采用氘燈產生的真空紫外連續放電光譜，經過真空紫外單色儀分光，獲得單一波長的真空紫外光譜，激發熒光粉。此方法中的真空紫外光經過真空紫外單色儀分光后信號很弱，測量信噪比和穩定性差。此外，該方法的測量光路長，真空度要求高。而上述這些測量方法，還只能獲得真空紫外熒光粉的部分光學參數，在實際應用中存在不少問題。

????????????????????????發明內容

本實用新型的目的旨在提供一種結構簡單、價格低、體積小、測量參數較全、精度高、使用方便的測量真空紫外用熒光粉光學參數的裝置。

本實用新型的一種測量真空紫外用熒光粉光學參數的裝置包括帶真空泵的真空箱，真空箱內設有和驅動裝置聯接的托架，托架上分布有若干個放熒光粉的樣品盤，在驅動裝置伸出真空箱端裝有檢測樣品盤編號的編碼裝置，在真空箱上安裝有至少一個向樣品盤照射光的激發光源和至少一個接收樣品發射光的光電測量儀。

上述真空箱呈真空狀態或充有惰性氣體，如氦氣、氙氣、氖氣、氮氣等。

所說的光電測量儀可以是裝置在真空箱內并與箱外的測量儀表連接的亮度探測器，或是插置在真空箱孔眼的亮度計，或是通過聚光鏡或光纖與真空箱相連的光譜輻射儀。

所說的激發光源可以是真空紫外燈、或是電子束激發源、或是離子束激發源、或是激光束激發源。

驅動裝置可以是蝸輪蝸桿傳動或齒輪傳動機構，也可以是步進電機直接驅動。該驅動裝置驅動托架作旋轉或作直線運動。

為防止鏡面反射，通常，使激發光源垂直照射樣品盤中的樣品，光電測量儀從與樣品法線成45°角的方向接收樣品發射光，或者激發光源從與樣品法線成45°角的方向照射樣品，光電測量儀垂直于樣品盤方向接收樣品發射光。

本實用新型與已有技術相比取得的效果在于：本實用新型由驅動裝置驅動托架運轉，使激發光源直接照射相應編號樣品盤中的試樣，利用光電測量儀，接收處于真空或惰性氣體保護的熒光粉試樣的發射光，可測得真空紫外熒光粉的光譜分布，相對亮度、色品坐標、色純度、色溫、峰值發射波長及輻射度、帶寬等諸多光學參數。它結構簡單、價格低，測量參數較全，精度高，信號強，使用方便。

????????????????????????附圖說明

圖1是本實用新型一種具體結構示意圖。

??????????????????????具體實施方式

參照圖1，本實用新型的一種測量真空紫外用熒光粉光學參數的裝置包括帶真空泵10的真空箱5，圖中19為箱蓋，真空箱內設有和驅動裝置8聯接的托架7，此例，驅動裝置采用蝸輪蝸桿傳動機構，它通過真空密封軸8-1與轉盤式托架相連，驅動托架旋轉。在托架上分布有若干個用于放熒光粉的樣品盤6，真空密封軸8-1處于真空箱外一端裝有檢測樣品盤編號的編碼裝置9，這里，編碼裝置是由具有定位孔和編碼孔的編碼盤9-1和檢測編碼的光電中斷器9-2構成，或者也可以采用光電軸角編碼器。在真空箱上安裝有向樣品盤照射光的激發光源1，圖示實例中，激發光源采用的是體積小、照射強度大的真空紫外燈，它包括具有氟化鎂前窗20的燈腔21，燈腔內有兩個經引線與電源2相連的放電電極22，腔體內充有一種或幾種混合的惰性氣體，如充氦氣、氙氣或其它惰性氣體，在放電時產生較強的147nm，172nm或其它波長的真空紫外線。通常，將分別充有不同惰性氣體的數個真空紫外燈裝置在真空箱上，便于根據需要，選擇所需波長的真空紫外線照射試樣，給使用帶來方便。真空紫外燈燈腔內的兩個放電電極可以是兩個平板電極，或是兩個桿狀電極或是中心為桿狀，外圈為圓筒狀的電極，或者是兩個同心式圓筒狀電極。此例中，接收樣品發射光的光電測量儀有兩個，一個是裝置在真空箱內并與箱外的測量儀表3連接的亮度探測器4，另一個是通過插置在真空箱孔眼12的光纖13與真空箱相連的光譜輻射儀11。圖示裝置采用真空紫外燈垂直照射樣品盤的樣品，亮度探測器、光纖從與樣品法線成45°角的方向接收樣品反射光。其中光譜輻射儀11連接有計算機18，以利用計算機來接收測量數據及控制測量過程，對測量數據進行處理。本實用新型裝置可精確獲得真空紫外用熒光粉的光譜分布，相對亮度、色品坐標、色純度、色溫、峰值發射波長及輻射度、帶寬等諸多光學參數。