[實用新型]一種量程可達20萬m/s2的微機械加速度傳感器無效
| 申請號： | 01238754.1 | 申請日： | 2001-04-06 |
| 公開（公告）號： | CN2503487Y | 公開（公告）日： | 2002-07-31 |
| 發明（設計）人： | 黃全平;陸德仁 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海冶金研究所 |
| 主分類號： | G01P15/09 | 分類號： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 量程 20 s2 微機 加速度 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種量程可達20萬m/s2的微機械加速度傳感器，其特征在于：
(1)它由敏感部分的芯片和厚度比該芯片稍厚8-10微米的矩形框構成，芯片封裝在框架中，并用玻璃蓋板上下與其鍵合；
(2)敏感部分的芯片是采用薄板—島結構，主要由錨區、支撐質量塊的懸空薄板、質量塊、敏感電阻組成。
2.按權利要求1所述的量程可達20萬m/s2的微機械加速度傳感器，其特征在于所述的薄板—島結構中，起著彈性梁作用的薄板是單晶硅薄層，厚度為30-200微米，與傳感器的量程有關。
3.按權利要求1所述的量程可達20萬m/s2的微機械加速度傳感器，其特征在于所述的敏感電阻設計成多條單一直線狀，寬4-50微米，長度接近薄板寬度；且平行于薄板和錨區的交線，安置于薄板的根部，小部分與錨區或敏感質量塊相交。
4.按權利要求1所述的量程可達20萬m/s2的微機械加速度傳感器，其特征在于所述的起彈性梁作用的薄板寬度與敏感質量塊的寬度相同。
5.按權利要求1所述的量程可達20萬m/s2的微機械加速度傳感器，其特征在于所述的敏感部分的芯片中的錨區不形成封閉式框架，敏感芯片占滿一個單元。
6.按權利要求1所述的量程可達20萬m/s2的微機械加速度傳感器，其特征在于所述的上下玻璃蓋板各粘上一小片金屬膜島；當加速度上升質量塊的質心正好碰到蓋板上的金屬膜島，起限位作用。
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