[實用新型]廢氣管路清潔裝置

無效

• 申請號: 01208152.3
• 申請日: 2001-03-29
• 公開（公告）號: CN2474239Y
• 公開（公告）日: 2002-01-30
• 發明（設計）人: 王仲志
• 申請（專利權）人: 華邦電子股份有限公司
• 主分類號: B08B9/053
• 分類號: B08B9/053
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 程偉

本實用新型有關于一種廢氣管路清潔裝置。第1圖表示應用于一般廢氣處理裝置10管路11、12、13的配置連接示意圖；以半導體廠所使用的廢氣處理裝置10為例子，第1圖中所示的管路11、12、13為簡略示意配置圖。在實際現場的管路是縱橫交錯設置于管路11、12、13的四周圍，在此僅呈現出欲進行清潔的管路11及相關的管路12、13。

半導體廠的廢氣處理裝置10是用以對于晶片在沉積及蝕刻等過程所產生的廢氣W進行處理。當廢氣W由管路11、12而流入于廢氣處理裝置10之后，廢氣處理裝置10對于廢氣W中的不純物(例如：氫化物(H₂、ASH₃…)、氟化物(NF₃…)、氯化物(BCl₃、CCl₃…)等特殊氣體)進行有害物質的分離，處理后的廢氣W’便由管路13排出于廢氣處理裝置10。

然而，由于廢氣W中包括有相當多的微粒物質，在長時間且大量的廢氣W流經管路11之后，管路11的內壁上便累積有一定厚度的結塊(cake)。就現有的管路清潔方式是將被清潔管路11以分段拆解的清潔方法來進行，如此不但無經濟效率可言，刷除結塊后

所散布于空氣中的微粒物質更是不利于清潔人員的健康。

本實用新型的目的是提供一種廢氣管路清潔裝置，以對于被清潔管路內壁所附著的結塊進行分離及清除。

本實用新型的廢氣管路清潔裝置主要包括有：一殼體、一清潔構件及一撓性導引件；殼體具有一連接口及第一排放口，該連接口用以連接被清潔管路；清潔構件設置于殼體的內部，移動于殼體的內、外部，該清潔構件由連接口而移動至被清潔管路內部，由該清潔構件將結塊分離于被清潔管路，并且由該第一排放口將該結塊排出；撓性導引件連接于清潔構件，由該撓性導引件的進給而將清潔構件移動于被清潔管路之中；撓性導引件連接于清潔構件，由該撓性導引件將該清潔構件移動于該被清潔管路之中。

本實用新型的廢氣管路清潔裝置的另一種結構是主要包括有：一殼體、一清潔構件、一撓性導引件、兩定位件、一進給裝置(如滾輪)及一收容裝置。殼體具有一連接口及第一排放口，該連接口用以連接被清潔管路；清潔構件設置于殼體的內部，移動于殼體的內、外部，該清潔構件由連接口而移動至被清潔管路內部，由該清潔構件將結塊分離于被清潔管路，并且由該第一排放口將該結塊排出；撓性導引件連接于清潔構件，由該撓性導引件的進給而將清潔構件移動于被清潔管路之中；撓性導引件連接于清潔構件，由該撓性導引件將該清潔構件移動于該被清潔管路之中；進給裝置用以控制該撓性導引件的移動；收容裝置用以容納該撓性導引件，在清潔構件的回復行程中自動地將該撓性導引件收回于該收容裝置。

當連接口連通于被清潔管路的端部之后，清潔構件便可經由連接口而移動于被清潔管路，由清潔構件的金屬刷毛或塑料刷毛將附著于被清潔管路的內壁的結塊分離，并且以吸塵器將結塊經由第一排放口排出于被清潔管路。

清潔構件接連于一撓性導引件，該撓性導引件由一進給裝置移動；由撓性導引件將清潔構件往復移動于被清潔管路之中，并且由二定位件(如軸承)將撓性導引件定位于殼體的中，使得撓性導引件沿著二定位件所設置的方向而移動。

上述的進給裝置是包括有一對可調整式滾輪，在各滾輪的外圓周上形成有一相對的內凹曲面。撓性導引件接觸設置于兩滾輪的內凹曲面之間，由摩擦力對于撓性導引件進行進給，并且由收容裝置內部

的彈性力量(例如：以彈簧等構件)自動地將撓性導引件收回于收容裝置之中。

圖式的簡單說明：

第1圖是表示應用于一般廢氣處理裝置(10)的管路(11、12、13)的配置連接狀態示意圖；

第2圖中A圖是表示本實用新型廢氣管路清潔裝置的第一實施例的平面示意圖；

第2圖中B圖是表示沿著A圖的線段a-a的剖面示意圖；

第3圖是表示本實用新型廢氣管路清潔裝置的清潔構件(21)往復移動于被清潔管路內的示意圖；

第4圖是表示本實用新型廢氣管路清潔裝置的第二實施例的平面示意圖；

第5圖是表示于第4圖中的清潔構件(21’)的立體示意圖；

第6圖是表示第5圖中的清潔構件(21’)往復移動于被清潔管路內的示意圖。

圖中符號說明：

10~廢氣處理裝置

11~被清潔管路

110~端部

112~管路

12、13~管路

130~閥門

15~閘門

2~本實用新型廢氣管路清潔裝置

20~殼體