[實用新型]CCD顯微成像的光纖及光纖器件幾何量檢測儀

無效

• 申請號: 01202574.7
• 申請日: 2001-01-15
• 公開（公告）號: CN2463847Y
• 公開（公告）日: 2001-12-05
• 發明（設計）人: 馮華君;徐之海;李奇;戴順林;邊美娟
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G02B21/32
• 分類號: G02B21/32;G01N21/88;G01N21/00
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司
• 代理人: 林懷禹

1．CCD顯微成像的光纖及光纖器件幾何量檢測儀，其特征在于：儀器中裝有一組放大倍率可選用的顯微物鏡[4]，在顯微物鏡[4]的上方裝有能作五維調節的部件[3]，被測件[1]用裝夾部件[2]夾緊后，裝在能作五維調節的部件[3]中；在顯微物鏡[4]的下方依次裝有同軸光耦合鏡[5]、CCD面陣[8]；同軸光耦合鏡[5]的一側裝有光源準直鏡[6]及光源[7]。

2．根據權利要求1所述的CCD顯微成像的光纖及光纖器件幾何量檢測儀，其特征在于：在顯微物鏡[4]與能作五維調節的部件[3]之間裝有干涉分光鏡[12]，在干涉分光鏡[12]的一側裝有標準樣板[11]。