[發明專利]導流式雙孔真空閥

無效

• 申請號: 01145059.2
• 申請日: 2001-09-18
• 公開（公告）號: CN1354334A
• 公開（公告）日: 2002-06-19
• 發明（設計）人: 梶谷昌生
• 申請（專利權）人: 速睦喜股份有限公司
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K1/52;F16K51/02
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 陳健

技術領域

本發明涉及接在真空腔與真空泵之間、逐漸把真空腔內壓力降低到真空壓力的導流式雙孔真空閥。

背景技術

通常，在半導體制造工序等中，在真空腔內的壓力通過真空泵被減小到真空壓力的場合下，當處于大氣壓和高壓狀態的真空腔內的氣體被急速排出時，瞬間流動著大量的氣體，因此在真空腔內產生了氣體紊流，存在著附著于真空腔內壁等上的的顆粒上揚并附著在工件上，和工件移動而偏移其安放位置的危險。

因此，在連接上述真空腔與真空泵的流道中，設置了具有流道面積大的主閥體和流道面積小的副閥體的真空閥，如圖7所示，首先，在通過氣壓使流道面積小的副閥體打開地進行初期排氣后，通過打開流道面積大的主閥體而使氣體吸入量分階段變化。

不過，由于主閥體的流道面積明顯比副閥體的大，所以即便在打開副閥體時進行初期排氣后馬上打開主閥體，仍然會產生激烈的流量變化，結果，容易在真空腔內發生氣體紊流。

發明內容

本發明的目的是提供一種導流式雙孔真空閥，它通過逐漸增大主閥體打開時的閥開啟度而使流量變化平穩，并且由此能夠在真空腔內穩定地進行排氣以防止氣體紊流。

為實現上述目的，本發明提供了一種導流式雙孔真空閥，它具有：用于與真空腔相連的腔孔及用于與真空泵相連的泵孔；具有這些孔的閥殼；并列連接所述腔孔與泵孔的、截面面積大的主流道及截面面積比該主流道小的副流道；打開關閉所述主流道中的主閥座的主閥體及打開關閉所述副流道中的副閥座的副閥體；通過第一閥桿與該主閥體相連的第一活塞及通過第二閥桿與該副閥體相連的第二活塞；使開閥方向上的氣壓作用在第一活塞上的主壓力作用室及使開閥方向上的氣壓作用在第二閥桿上的副壓力作用室；在關閥方向上對所述主閥體施加彈力的第一彈簧件及在關閥方向上對所述副閥體施加彈力的第二彈簧件，所述主閥體具有通過接觸和離開所述主閥座而提升地打開關閉該主閥座的閥密封部件、和嵌在該主閥座的內孔中并通過該閥密封部件在該內孔中移動的柱形流量調節部，所述流量調節部具有這樣的功能，即它通過逐漸變尖細的結構而在所述閥密封部件打開時使流動于主流道中的空氣流量逐漸增大。

具有上述結構的本發明真空閥在排放真空腔內氣體的場合下，例如通過氣壓使副閥體動作以打開流道面積小的副閥座，由此進行初期排氣，隨后，使主閥體動作以打開流道面積大的主閥座，由此進行以后的排氣。此時，由于所述主閥體具有逐漸變尖細的柱形流量調節部，所以，由于該流量調節部發揮了在主閥體打開時逐漸增大流動于主流道中的空氣流量的作用，所以防止了由劇烈排氣而引發的真空閥內的紊流。

根據本發明的具體實施形式，所述主閥體在與該流量調節部相連的位置上具有比該流量調節部粗的止動部，在所述主閥座的內孔中形成了嵌接并定位該止動部的階梯部，通過這些止動部和階梯部而限定了所述主閥體的關閥位置。

所述主閥體的流量調節部在軸線方向上連續地具有多個坡度不同的斜面，或者通過多個平滑曲面而逐漸成尖細的形狀。

根據本發明的其它具體實施形式，所述副流道及副閥體被組裝到所述主閥體內，所述第二活塞及副壓力作用室被組裝到第一活塞內，所述第二閥桿被細裝到第一閥桿內，所述主閥體在與所述流量調節部相連的位置上具有比該流量調節部粗的止動部，在所述主閥座的內孔中形成了嵌接并定位該止動部的階梯部，通過這些止動部和階梯部而限定了所述主閥體的關閥位置。

在這種場合下，可以形成為，所述第一活塞具有連同所述主壓力作用室與副壓力作用室的通孔，所述閥殼具有一個用于給所述主壓力作用室輸送壓縮空氣的操作孔。或者，可以形成為，所述閥殼具有用于單獨地給所述主壓力作用室和副壓力作用室輸送壓縮空氣的第一及第二操作孔，其中第一操作孔通過設置于閥殼上的通孔與主壓力作用室連通，第二操作孔能夠通過設置于閥殼和第一閥桿內部的通孔與副壓力作用室連通

附圖說明

圖1是表示本發明的真空閥第1實施例的截面圖，它分別示出了副閥體的打開狀態和關閉狀態。

圖2是表示本發明的真空閥第2實施例的截面圖，它分別示出了副閥體的打開狀態和關閉狀態。

圖3是表示本發明的真空閥第3實施例的截面圖，它分別示出了副閥體的打開狀態和關閉狀態。

圖4是表示本發明真空閥的操作壓力和排氣流量之間關系的特性圖。

圖5是表示本發明真空閥的主閥體的其它結構的主要部分的截面圖。

圖6是表示本發明真空閥的主閥體的其它結構的主要部分的截面圖。

圖7是表示傳統真空閥的操作壓力與排氣流量之間的關系的特性圖。

具體實施方式