[發明專利]清潔工作艙和清潔通道

無效

• 申請號: 01144881.4
• 申請日: 2001-12-27
• 公開（公告）號: CN1362600A
• 公開（公告）日: 2002-08-07
• 發明（設計）人: 神原博文;杉山佳之;石野智明
• 申請（專利權）人: 株式會社三協精機制作所;東洋熱工業株式會社
• 主分類號: F24F3/16
• 分類號: F24F3/16;F24F5/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 劉興鵬

1、一個清潔工作艙，包括：

清潔空間，其通過一個本體部的壁部形成，并且向下流動的清潔空氣被供應到所述清潔空間中；

工作單元，其用于支撐安置在所述清潔空間內的一個工件；以及

室，其通過一個位于所述清潔空間前側的本體壁部而毗鄰所述清潔空間，以便使得位于所述室內的操作者在將手伸展到所述清潔空間中的時候，可相對于安置在所述工作單元上的工件執行操作，

其中，所述工作單元從形成所述清潔空間的一個后側的所述本體壁部向著所述清潔空間的內側突出，

用于將向下流動的清潔空氣排出所述工作艙的排氣部被設置在所述清潔空間的下側，

所述室被構造以便將所述室通過一個覆蓋所述室的板件而與所述工作艙的外部從空間上進行分隔，以及

由于所述板件的分隔作用，所述室內部的壓力被設置得比所述工作艙外部的壓力要高，并且所述室內部的所述壓力被設置得比所述清潔空間內部的壓力要低。

2、如權利要求1所述的清潔工作艙，其特征在于，一個用于抽吸所述室內部空氣的吸氣部被安置在所述室的下部。

3、如權利要求2所述的清潔工作艙，其特征在于，所述吸氣部所抽吸的空氣量被調節，以便將所述室內部的壓力保持得比所述工作艙外部的壓力要高。

4、如權利要求1所述的清潔工作艙，其特征在于，進一步包括一個位于所述本體壁部的工作孔，用于使操作者能夠觀察所述清潔空間內部的工件，以及

一個窗板，其具有向著所述清潔空間的內側突出的曲面，并被連接在所述工作孔上。

5、如權利要求4所述的清潔工作艙，其特征在于，一個用于將部分向下流動的清潔空氣導入所述室中的空氣通孔被形成在所述彎曲窗板正下方的位置，并且所述具有曲面的窗板的下側曲面被成形以便從所述窗板的曲面的突出頂點向著所述空氣通孔彎曲。

6、如權利要5所述的清潔工作艙，其特征在于，儀器被設置在遠離操作者的位置，并且具有彎曲表面的窗板位于儀器和操作者之間，同時儀器位于清潔空間的外部，所述儀器處在與所述窗板大致相同的高度。

7、如權利要1所述的清潔工作艙，其特征在于，用來提供向下流動的清潔空氣的空氣輸送部被設置在所述清潔空間的天花板上的所述本體壁部，并且具有向下凸出的曲面的彎曲過濾器被安置在所述空氣輸送部，并且由所述空氣輸送部供應的、通過所述彎曲過濾器的向下流動的清潔空氣向著垂直于深度方向的至少一個寬度方向大致放射狀地擴大。

8、如權利要1所述的清潔工作艙，其特征在于，所述排氣孔被分別設置在確定所述清潔空間的本體壁部的下端以及分隔所述室的板件的下端。

9、一個清潔通道，其包括若干根據前面權利要求1-8中任一權利要求所述的清潔工作艙，所述清潔工作艙被并置以及連接成一排。

10、一個清潔工作艙，其中，清潔空氣通過設置在清潔空間中的空氣輸送部上的一個內部過濾器而被凈化，并通過位于所述內部過濾器的下游端的一個出口表面過濾器而作為向下流動的清潔空氣被從所述空氣輸送部向下供應到所述清潔空間中，以及

所述出口表面過濾器的一個空氣輸送表面被形成以便沿著垂直于深度方向的至少一個寬度方向而大致放射狀地彎曲，以及

由所述空氣輸送部所供應的向下流動的清潔空氣沿著寬度方向被大致放射狀地擴大的同時被輸送。

11、如權利要求10所述的清潔工作艙，其特征在于，所述出口表面過濾器的空氣輸送表面被形成以便沿著深度方向大致放射狀地彎曲，并且由所述空氣輸送部所提供的向下流動的清潔空氣沿著深度方向被大致放射狀地擴大的同時被輸送。

12、如權利要求10所述的清潔工作艙，其特征在于，所述內部過濾器由尺寸小于所述清潔空間的天花板部的尺寸的一個高效粒子空氣過濾器而構成。

13、如權利要求10所述的清潔工作艙，其特征在于，所述出口表面過濾器通過由尼龍布制成的網狀過濾器而構成，并且所述網狀過濾器在松弛的狀態下被安裝，并因此而沿著深度方向和相垂直的寬度方向大致放射狀地彎曲，從而由所述空氣輸送部所供應的向下流動的清潔空氣在沿著深度方向和寬度方向大致放射狀地擴大的同時被輸送。