[發明專利]化學機械研磨機的載具膜的沖孔模具以及適用于此模具的預防保養方法無效
| 申請號： | 01144465.7 | 申請日： | 2001-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN1426860A | 公開（公告）日： | 2003-07-02 |
| 發明（設計）人： | 吳萬益;蔡明發 | 申請（專利權）人： | 南亞科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B21D22/06 | 分類號： | B21D22/06 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 馬婭佳 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械 研磨機 載具膜 沖孔 模具 以及 適用 于此 預防 保養 方法 | ||
【說明書】：
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