[發明專利]雙層硅碳化合物阻障層有效
| 申請號： | 01143894.0 | 申請日： | 2001-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN1427476A | 公開（公告）日： | 2003-07-02 |
| 發明（設計）人： | 楊能輝;蔡正原;吳欣昌 | 申請（專利權）人： | 聯華電子股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/532 | 分類號： | H01L23/532;H01L21/3205;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 陳小雯,肖鸝 |
| 地址： | 臺灣省新竹科*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 雙層 碳化 阻障 | ||
【說明書】：
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