[發(fā)明專利]管靶的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 01143725.1
• 申請日: 2001-12-19
• 公開（公告）號: CN1363716A
• 公開（公告）日: 2002-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: R·赫克;R·于特納;D·盧普頓;E·邁爾;P·麥恩茨;H·曼哈德特;B·施滕格;H·青格
• 申請（專利權(quán)）人: W.C.賀利氏股份有限兩合公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22D19/16;B22D27/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 蔡民軍,趙辛

1.一種陰極濺射設(shè)備的管靶的制造方法，其中該管靶由一個金屬內(nèi)管和一個同心包圍該內(nèi)管的金屬外管組成，該內(nèi)管用具有第一熔點T_S1≥900K的第一種材料，而該外管則用具有第二熔點T_S2≤800K的第二種材料制成，且該外管的內(nèi)直徑與該內(nèi)管的外直徑以形狀相合的方式進行機械的固定連接，其特征為：該外管通過第二種材料在熔融狀態(tài)下澆入一個豎放的、加熱的圓筒形鑄模中來形成，該鑄模具有一根加熱的棒，該棒由該內(nèi)管構(gòu)成；在用熔融的第二種材料注滿該鑄模和內(nèi)管之間的空腔后，在該內(nèi)管和鑄模之間產(chǎn)生第一溫度梯度；在鑄模的上側(cè)和下側(cè)之間產(chǎn)生第二溫度梯度；該外管同時從內(nèi)向外和從下向上進行冷卻。

2.按權(quán)利要求1的方法，其特征為，該鑄模通過至少兩個單獨調(diào)節(jié)的、分別徑向包圍該鑄模的加熱裝置進行加熱。

3.按權(quán)利要求2的方法，其特征為，作為加熱裝置采用電加熱墊。

4.按權(quán)利要求1至3至少一項的方法，其特征為，該內(nèi)管通過它的內(nèi)直徑用熱氣體或蒸汽加熱。

5.按權(quán)利要求1至4至少一項的方法，其特征為，該鑄模和該內(nèi)管被預(yù)熱到400K至850K的溫度范圍。

6.按權(quán)利要求5的方法，其特征為，該鑄模至少被預(yù)熱到高于第二種材料的熔點T_S2的溫度。

7.按權(quán)利要求1至6至少一項的方法，其特征為，作為第一種材料用優(yōu)質(zhì)鋼、鋁或銅。

8.按權(quán)利要求1至7至少一項的方法，其特征為，作為第二種材料用錫、鋅、鉍、銦或它們的合金。

9.按權(quán)利要求1至8至少一項的方法，其特征為，內(nèi)管在澆注前進行預(yù)處理，即在其外直徑上涂敷一層厚度為5微米至500微米的粘附中介層。

10.按權(quán)利要求9的方法，其特征為，在用一種熔劑的情況下，涂敷一層焊料作為粘附中介層。

11.按權(quán)利要求9的方法，其特征為，該粘附中介層至少部分地通過電鍍或無電流沉積來制成。

12.按權(quán)利要求9的方法，其特征為，該粘附中介層通過熱噴涂來制成。

13.按權(quán)利要求8、9和10的方法，其特征為：采用優(yōu)質(zhì)鋼制成的內(nèi)管；在用熔劑的情況下，涂敷一層焊料作為粘附中介層；且該焊料層至少部分地由第二種材料組成。

14.按權(quán)利要求8、9和11的方法，其特征為：采用鋁或銅制成的內(nèi)管；該粘附中介層至少部分地通過電鍍或無電流沉積來制成；且該粘附層至少部分地由第二種材料組成。

15.按權(quán)利要求12的方法，其特征為：該粘附中介層通過熱噴涂鎳來制成。

16.按權(quán)利要求1至15至少一項的方法，其特征為，通過停止內(nèi)管的內(nèi)直徑的加熱來產(chǎn)生第一溫度梯度。

17.按權(quán)利要求16的方法，其特征為，通過用冷氣或蒸汽流入內(nèi)管的內(nèi)直徑來產(chǎn)生第一溫度梯度。

18.按權(quán)利要求2至17至少一項的方法，其特征為，第二溫度梯度通過停止至少兩個在時間上延遲的加熱裝置來產(chǎn)生。

19.按權(quán)利要求1至18至少一項的方法，其特征為，鑄模徑向由至少兩部分組成。

20.按權(quán)利要求1至19至少一項的方法，其特征為，該外管制作成3毫米至12毫米的厚度范圍。

21.按權(quán)利要求1至20任下項的方法來制造陰極濺射設(shè)備的管靶的應(yīng)用，其中外管具有的含氧量≤100ppm，且具有由垂直于該外管的表面排列的柱狀晶粒組成的結(jié)構(gòu)。

22.按權(quán)利要求21的應(yīng)用，其特征為，含氧量≤50ppm。

23.按權(quán)利要求21至22任一項的應(yīng)用，其特征為，柱狀晶粒的平均粒度為0.3毫米至15毫米。