[發明專利]內部噪音免疫數據通訊方案

無效

• 申請號: 01143318.3
• 申請日: 2001-09-21
• 公開（公告）號: CN1371204A
• 公開（公告）日: 2002-09-25
• 發明（設計）人: 喬納森·W·斯麥卡
• 申請（專利權）人: ENI技術公司
• 主分類號: H04L29/00
• 分類號: H04L29/00;H01L21/205;C23C16/00;C23C14/34
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王以平

技術領域

本發明涉及一種材料處理系統，具體地說，本發明涉及一種在材料處理系統中所使用的點對點通訊方案，提供內部噪音免疫數據通訊。

背景技術

材料處理，例如通過利用等離子體的等離子沉積和濺射已經眾所周知多年了。這些處理通常要求生成與等離子體腔耦合的RF或高壓DC功率信號。生成功率信號通常需要斬波和整流相對高的電壓例如270伏DC。斬波和整流過程生成寄生的亂真的電場和磁場，所述電場和磁場與附近的電路耦合，導致相對高的電噪音環境。與電路耦合的寄生的亂真的場導致信號質量惡化，引起可能的數據不純。由于高速通訊所需的相對低的信號振幅，高速數據通訊線特別容易受信號惡化和數據不純的影響。

通常用于材料處理系統的高速數據通訊系統在內部裝置之間傳送模擬信號。使用模擬信號能夠在易受噪音干擾和有限的誤差檢測能力環境下確保高速通訊。

在現有技術可以被用于提供適用于材料處理系統的內部通訊的同時，沒有證實現有技術能夠減少噪聲誘發差錯。此外，普通系統不能提供與惡化信號的檢測相關的高的數據傳送速率。

發明內容

本發明的數據通訊系統和方法提供了一種用于在材料處理系統的內部裝置之間傳送信息的系統。數據通訊系統包括至少兩個用于在材料處理系統的內部裝置之間傳送數據的數字通訊端口。與第一內部裝置相關的第一數字通訊端口，它通過物理鏈路和與第二內部裝置相關的第二數字通訊端口相互連接。第一數字通訊端口包括一串行發送機，用于將數據轉換成具有至少一個信息幀的發送串行流。一信號生成器，用于將發送串行流格式化成在物理鏈路上被發送到第二數字通訊端口的發送信號。第二數字通訊端口包括一信號變換器，用于接收來自第一數字通訊端口的傳送信號并由此生成一接收串行流。一串行接收機對所接收到的串行流進行處理并從中析取至少一個信息幀。

為了更徹底地理解本發明的目的、優點，參考下文的說明和附圖。

附圖說明

圖1顯示了一個符合本發明的材料處理系統的優選示例(實施例)；

圖2顯示了一個符合本發明通訊系統的優選示例；

圖3顯示了一個優選的信息幀；

圖4顯示了一個材料處理系統的優選示例；

圖5顯示了符合本發明的串行發送機；

圖6顯示了符合本發明的串行接收機；

圖7顯示了優選示例的串行發送機的流程圖；

圖8顯示了優選示例的串行接收機的流程圖。

具體實施方式

圖1顯示了一種包括符合本發明的數據通訊系統的材料處理系統10。介紹和顯示了用于制造半導體的材料處理系統。可以理解的是，具體的處理系統僅僅是示例性的，也可以是別的材料處理系統例如用于制造光盤、鍍銅和薄膜加工的DC濺射系統。處理系統10包括用于提供RF功率信號以便在等離子體腔14內驅動等離子體加工操作的RF生成器12。在優選示例中，RF功率信號以13.56MHz基頻操作，然而本發明范圍包括以DC和別的AC頻率操作的處理系統。RF生成器12包括不同的結合在一起提供RF功率信號的內部裝置。RF生成器12內部裝置的一種是用于將未經調節的輸入功率轉換成提供給等離子體腔14的輸出的功率變換器16。功率變換器16包括一用于與等離子體處理系統10中其它的內部裝置通訊的通訊端口18。功率變換器通訊端口18在高噪音環境下例如出現在材料處理系統10中的噪音環境下提供與其它裝置可靠的通訊。材料處理系統10中的檢測裝置24監視等離子體腔14內的RF功率信號并將所檢測到的信息從內部檢測裝置通訊端口22通過物理鏈路20耦連到功率變換器通訊端口18，物理鏈路20包括連接通訊端口18和22的適當的連接器和電纜互連方案。

圖2顯示了材料處理系統10內的兩個相互連接的通訊端口。用于發送信息的第一通訊端口30位于一個內部裝置例如功率變換器內。第一通訊端口30包括耦連到信號生成器34上的串行發送機32。串行發送機32將一個輸入數據流格式化成一個或多個信息幀的串行流。信號生成器34將串行流轉化成一具有1.2伏直流偏壓的差動輸出信號，其具有0.4伏左右的峰到峰電壓擺動。

用于接收信息的第二通訊端口36位于另一個內部裝置例如檢測器上。第二通訊端口36包括用于接收從第一通訊端口30所發送的差動信號的信號轉換器40。信號轉換器40將所述差動信號再次格式化成一個單端信號，信號轉換器40與串行接收機38相耦連。串行接收機38將串行流的信息幀轉換成一種能夠與相關內部裝置上的電路兼容的格式，例如并行流。