[發明專利]用于離子束照射裝置的等離子體產生裝置有效
| 申請號： | 01142968.2 | 申請日： | 2001-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN1157756C | 公開（公告）日： | 2004-07-14 |
| 發明（設計）人： | 濱本成顯;酒井滋樹 | 申請（專利權）人： | 日新電機株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H05H1/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;葉愷東 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 離子束 照射 裝置 等離子體 產生 | ||
【權利要求書】：
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