[發明專利]直拉硅單晶爐熱屏方法及熱屏蔽器在審
| 申請號： | 01134359.1 | 申請日： | 2001-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN1417386A | 公開（公告）日： | 2003-05-14 |
| 發明（設計）人： | 屠海令;周旗鋼;張果虎;吳志強;戴小林;方鋒 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京元中專利事務所 | 代理人： | 母宗緒 |
| 地址： | 100088*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 直拉硅單晶爐熱屏 方法 屏蔽 | ||
【說明書】：
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