[發明專利]一種微電子器件加工設備中直線運動的控制裝置無效
| 申請號： | 01133344.8 | 申請日： | 2001-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN1151411C | 公開（公告）日： | 2004-05-26 |
| 發明（設計）人： | 劉偉 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G05B19/02 | 分類號： | G05B19/02 |
| 代理公司： | 長春科宇專利代理有限責任公司 | 代理人： | 梁愛榮 |
| 地址： | 130022吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 微電子 器件 加工 設備 直線運動 控制 裝置 | ||
【權利要求書】：
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