[發明專利]半導體制品的生產和生產設備及其電子交易系統與方法

無效

• 申請號: 01132528.3
• 申請日: 2001-05-31
• 公開（公告）號: CN1347054A
• 公開（公告）日: 2002-05-01
• 發明（設計）人: 光武邦寬;奧村勝彌
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G06F17/60
• 分類號: G06F17/60;G05B17/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王永剛

技術領域

本發明涉及用于通過網絡進行半導體制品交易的半導體制品的電子交易方法和系統，以及用于在工廠中進行高效率經營的生產系統、生產方法、生產設備設計系統、生產設備設計方法，生產設備制造方法。

背景技術

在已往的典型半導體工廠中，以月產數千批的規模生產存儲器等通用品。在生產線內存在很多批，工期長，難于預測投放的制品何時出廠。即使在這種狀況下，對于通用品，只要使投放的批量符合交貨期，而不必予以特別的注意，也不會有太大的問題。

另一方面，在SOC(單片系統)時代的半導體工廠中，考慮到根據顧客的要求，主要以月產數百批的規模生產系統LSI。在這種規模的小工廠中(以下稱為小型加工廠：mini-fab)，必須按使用者的要求投入需要的批量，進行適當的批量進展管理，遵守交貨期。并且，必須確定能否按照使用者的要求(規格、數量、交貨期、價格等)實際制造該制品。

但是，在已往的小型加工廠中，難于進行嚴密的批量進展管理，也難于正確進行可否按交貨期制造該制品的判定。對于系統LSI等的半導體制品，若構建成利用以互連網為主的網絡的電子交易系統，則將特別增加商業機會。然而，由于存在上述批量進展管理和制品制造判定的困難，因此進行這種半導體制品的電子交易也是極其困難的。

這樣，對于已有的半導體工廠，難于正確進行批量進展管理和可否制造該制品的判定，特別是對于SOC時代的小型加工廠，這將是錯過商業機會的主要原因。

并且，已有的典型半導體工廠中，在各種工序所使用的裝置，同一用途的通常有數臺到數十臺。因此，由于多批在同一種類的裝置進行處理，則存在批量流程難于把握的問題。作為把握批量流程的系統，有タイシン公司的稱為管理系統的軟件。該軟件是輸入在制品各工序使用的裝置和處理時間、裝置群等信息，在計算機上虛擬使批量流動，從而進行批量流程的把握和生產線的最佳化，制訂生產計劃。

為了實現生產線的最佳化和生產計劃，首先將實際生產線中的批量進展信息、關于裝置狀態的信息、制品的工序信息等各種信息，傳送到在計算機上虛擬構建的虛擬工廠。然后，將這些信息作為輸入數據，進行批量的進展預想計算，再將得到的信息作為工作指示，傳送到實際生產線。然而，對于月產數千批的大規模生產系統，由于計算機處理能力的限制，實際情況是對各種處理進行簡化計算。因此，不一定要進行準確的模擬。

作為類似的方法，提出了一種將生產試制系統的信息和實際系統的信息通過共有信息進行相互交流，利用進行模擬的結果管理生產或試制的制造工序的制造管理系統(特開平10-207506號公報)。然而，在該方法中，納入虛擬工廠的主要是裝置模擬和工序模擬、電路、形狀、邏輯模擬等，不包含使批量流動的部分，因此存在不能預測批量流程的問題。

圖1表示用管理系統得到的生產量和工期的計算結果。圖中，橫軸表示生產線內的批量數(＝Work?in?Process：WIP，在制品)，縱軸表示生產量(月平均生產量)和工期。由圖可見，當WIP少時生產量大致與WIP成比例，工期為一定值。在這種狀態下，不大會發生批量的等待。當WIP變大時，生產量的斜率漸漸變小，最后生產量為一定值。該生產量與妨礙生產流程的裝置的處理能力相對應。在該領域。工期與WIP成比例地增加。

為了加大生產線的生產率，必須增加生產量，而且縮短工期。為了使工期最短，必須減少等待批量數，在該圖中必須使WIP在A附近。然而，生產量過小是不現實的。另一方面，為了使生產量最大，最好增大WIP以便在圖的C附近，但工期變長了。因此，在圖的B點附近經營是適當的。

然而，由于生產裝置的保養和故障、到達影響生產流程的裝置的制品的波動，如圖1中的虛線所示，生產量下降，生產率降低，為了防止生產量下降，必須進行恰當的處理，以便正確預測批量的進展，增加生產量，縮短工期。但是，對于上述大規模生產系統，由于計算機處理能力的限制，要簡化各種處理，不能精確計算，因此難于嚴密預測批量的進展。

另一方面，在某個裝置處理批量時會產生幾個選擇枝。例如，在可同時處理多個批量的分批裝置中，當1批量為等待批量時，必須進行應立即處理該批量或應等待其他批量到來的選擇。當某裝置中優先度較低的批量是等待批量，而且預想優先度較高的批量會在某時間后到來時，必須進行應該先處理該優先度較低的批量或者等待應先處理優先度較高的批量的選擇。此外，在引入連續工序時(例如，前處理→氧化或CVD)→后處理，24小時以內)，應以哪種定時開始處理，也是存在的問題。