[發明專利]半導體激光器老化篩選設備和篩選方法

無效

• 申請號: 01129827.8
• 申請日: 2001-10-26
• 公開（公告）號: CN1389963A
• 公開（公告）日: 2003-01-08
• 發明（設計）人: 馬軍;唐寬平;何德毅;邱海波;陳良惠;孫睦光;張浩先
• 申請（專利權）人: 惠州市中科光電有限公司
• 主分類號: H01S5/00
• 分類號: H01S5/00;H01L21/66
• 代理公司: 廣州粵高專利代理有限公司
• 代理人: 陳衛

技術領域：

本發明涉及半導體器件領域，尤其是一種半導體激光器大規模生產中批量老化篩選設備和篩選方法。

背景技術：

半導體光電器件產品在出廠之前，都要經過老化篩選工藝過程，以檢測新產品的壽命指標，這要通過專用設備和機械夾具，按照一定的原理方法來完成。從總體上講要能夠實時測量并顯示、記錄被老化器件的有關性能參數，供人們對被老化器件的性能進行判斷。目前，所使用的該類型設備存在以下不足之處：1、每臺設備每次老化的器件數量有限(一般為幾～十幾只)，影響生產效率，不能滿足大批量生產的要求；2、被老化器件參數的讀取速度有限，數據采集、制圖、制表的速度和智能化程度不高；3、對被老化器件的性能參數采集精度不高；4、無質量控制標準。基于目前設備的老化篩選方法存在著許多中間環節需要人手來操作，自動化程度不高。

技術方案：

本發明旨在提供一種高效率、高精度、高容量并具智能化判斷能力的老化篩選設備，以及在此基礎上的自動化程度高的老化篩選方法，以滿足半導體激光器的大批量生產的需要，并達到以下目的：1、大幅度提高單臺設備可老化器件的數量；2、提高各被測器件的自動功率控制電路的性能，提高數據采集的精度、速度、一致性和可靠性；3、具有通過計算機進行人工讀取數據和制作圖表的便意性。

上述目的可通過如下方式實現：一種半導體激光器老化篩選設備，包括：

一臺計算機，用于控制單片機、讀取單片機中暫存器的測量數據并形成每個被測半導體激光器的各性能參數曲線；

一個單片機，用于控制被測激光器的工作過程并采集該過程中被測激光器的數據；

多個自動功率控制電路，通過I/O擴展電路受控于所述單片機，以在負反饋回路中采用數字電位器的形式，用于自動調節激光器的工作狀態，形成測量數據；

一個夾具組，包括固定被檢測激光器的裝置；

和一個溫度控制老化裝置。

基于所述半導體激光器老化篩選設備，同時提供了一種自動化程度高的半導體激光器老化篩選方法，包括以下步驟：

a.將多個激光器放置在老化篩選設備的機械夾具上；

b.使激光器工作于恒功、恒流狀態，采用逐管掃描方式采集各狀態下

??各激光器隨時間變化的性能參數；

c.生成各激光器性能參數曲線；

d.給出各個激光器質量標記；

其特征在于：所述激光器各種工作狀態的調節是通過單片機控制含有數字電位器的功率控制電路自動完成，其性能參數的采集是通過單片機分時序自動采集的，所述性能參數曲線由計算機定時采集單片機暫存器的數據并自動生成。

本發明所述的半導體激光器老化篩選設備在控制待測器件發光的功率控制電路中采用數字電位器，通過單片機對數字電位器的自動調控，并將結果輸入單片機和計算機，實現了半導體激光器件的老化過程中參數自動記錄、自動保存、恒功率偏差自動校準、產品品質自動識別等功能，每臺設備每次可老化篩選的半導體激光器的數量大，從而提高了生產效率。由于采用了單片機控制技術和數字電位器，使得設備速度、精度和可靠性大大提高，智能化程度也大大提高。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。

圖1是本發明實施例的系統原理框圖；

圖2是本發明實施例的系統結構框圖，其中向下的箭頭表示連向底板2，該底板2的結構同圖中的底板1；

圖3是本發明實施例中單片機流程圖；

圖4是本發明實施例中功率控制電路原理圖；

圖5是本發明實施例中的夾具剖視圖。

具體實施例

本實施例中，由圖所示，該設備由以下幾部分組成：1個單片機、256路功率控制電路、1臺計算機、16個起固定及散熱作用的夾具3和數套溫度控制老化箱，在檢測中，每個夾具3固定了16個待測激光器并放置于老化箱中。