[發明專利]化學增強型正光刻膠組合物和锍鹽

無效

• 申請號: 01129511.2
• 申請日: 2001-06-22
• 公開（公告）號: CN1330289A
• 公開（公告）日: 2002-01-09
• 發明（設計）人: 上谷保則;大橋賢治;釜淵明
• 申請（專利權）人: 住友化學工業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039
• 代理公司: 北京集佳專利商標事務所
• 代理人: 王學強

1.一種化學增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為：包括：(A)一種酸發生劑，含有(a)由下式(I)表示的锍鹽，

其中每一個Q¹和Q²獨立表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環烷基，或Q¹和Q²與相鄰的硫原子一起形成可含有一個氧原子或硫原子的雜環基；Q³表示氫原子，Q⁴表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環烷基，或Q³和Q⁴與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環烷基；Q⁵SO₃^-表示有機磺酸根離子，條件是當Q⁵表示具有1至8個碳原子的全氟烷基時，排除Q¹表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基，Q²表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環烷基，和Q³和Q⁴與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環烷基的情形；和

(b)至少一種鎓鹽，選自：由下式(IIa)表示的三苯基锍鹽和由下式(IIb)表示的二苯基碘鎓鹽

其中P¹-P⁵各自獨立表示氫原子、羥基、1至6個碳原子的烷基或1至6個碳原子的烷氧基，P⁶SO₃^-和P⁷SO₃^-各自表示有機磺酸根離子，p和q表示1至8的整數；和

(B)一種樹脂，該樹脂包括具有對酸不穩定的基團的聚合單元，并且其本身不溶或微溶于堿，但通過酸的作用變為可溶于堿。

2.如權利要求1所述的化學增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為：Q¹和Q²與其相鄰的硫原子一起形成雜脂環基。

3.如權利要求1所述的化學增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為：Q³、P⁶和P⁷各自獨立表示1至8個碳原子的全氟烷基、1至8個碳原子的烷基，或6-12個碳原子的芳香基或樟腦基。

4.如權利要求1所述的化學增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為：式(I)表示的脂族锍鹽與選自式(IIa)的三苯基锍鹽和式(IIb)的二苯基碘鎓鹽的鎓鹽的比例約為9∶1-1∶9。

5.如權利要求1所述的化學增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為：以總樹脂量計，該樹脂含有10-80％mol的具有對酸不穩定基的聚合單元。

6.如權利要求1所述的化學增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為：該具有對酸不穩定基團的聚合單元是(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯聚合單元或(甲基)丙烯酸1-金剛烷基-1-烷基烷基酯聚合單元。

7.如權利要求1所述的化學增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為：(B)樹脂還包括至少一種選自下列的聚合單元：對羥基苯乙烯的聚合單元、間羥基苯乙烯的聚合單元、(甲基)丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯的聚合單元、(甲基)丙烯酸3，5-羥基-1-金剛烷基酯的聚合單元、其中丁內酯可被烷基取代的(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內酯的聚合單元、每一個用下式(IIIa)和(IIIb)表示的脂環內酯的聚合單元：

其中R¹和R²獨立表示氫或甲基，n表示1-3的一個數。

8.如權利要求7所述的化學增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為：該樹脂還包括2-降冰片烯的聚合單元和脂族不飽和二羧酸酐的聚合單元。

9.如權利要求1所述的化學增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為：還含有胺作為淬滅劑。

10.由式(Ia)表示的锍鹽：

其中Q⁶表示1至8個碳原子的全氟烷基、1至8個碳原子的烷基、6-12個碳原子的芳香基或樟腦基；當Q⁶表示1至8個碳原子的全氟烷基時，Q¹和Q²各自獨立表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環烷基，或Q¹和Q²與相鄰的硫原子一起形成可還含有一個氧原子或硫原子的雜脂環基；Q³表示氫原子，Q⁴表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環烷基；當Q⁶表示1至8個碳原子的烷基、6-12個碳原子的芳香基或樟腦基時，Q¹和Q²各自獨立表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環烷基，或Q¹和Q²與相鄰的硫原子一起形成可還含有一個氧原子或硫原子的雜脂環基；Q³表示氫原子，Q⁴表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環烷基；或Q³和Q⁴與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環烷基。