[發明專利]激光束產生裝置

無效

• 申請號: 01124582.4
• 申請日: 2001-08-09
• 公開（公告）號: CN1337766A
• 公開（公告）日: 2002-02-27
• 發明（設計）人: 金田有史
• 申請（專利權）人: 索尼株式會社
• 主分類號: H01S3/108
• 分類號: H01S3/108;H01S3/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 羅亞川

1.激光束產生裝置包括：

用于產生基波的波產生裝置；

非線性光學部件，用于接收由波產生裝置產生的基波，并且讓基波通過一條滿足相位匹配條件的光路，由此產生諧波，所述非線性光學部件具有多個內部全反射平面，同時它被這樣構成：按照與被施加到非線性光學部件的基波的軸相交的方向，發射在內部全反射平面上被順序地反射的基波，以及借助于在非線性光學部件中的雙反射以及在內部全反射各平面上的內部全反射，發射在內部全反射各平面上被順序地反射的諧波，上述諧波在空間上偏離于基波。

波反射裝置，安裝在被施加到非線性光學部件的基波的軸以及從非線性光學部件發射的基波的軸的交點上，用以反射從非線性光學部件發射的基波，并將該基波再次施加到該非線性光學部件；以及

諧波反射裝置，用于反射從非線性光學部件發出的、并且在空間上偏離于基波的諧波，由此從激光束產生裝置發出諧波。

2.根據權利要求1所述的激光束產生裝置，其中，該諧波是連續的深紫外激光束。

3.根據權利要求1所述的激光束產生裝置，其中，該非線性光學部件包括一塊BBO晶體。

4.根據權利要求1所述的激光束產生裝置，其中，該非線性光學部件具有一個平面，基波被施加到該平面，并且它與被施加到非線性光學部件的基波的軸之間的傾角約為一個布魯斯特角。