[發明專利]有機抗反射涂層聚合物、含該聚合物的抗反射涂層組合物及其制備方法

無效

• 申請號: 01123295.1
• 申請日: 2001-06-30
• 公開（公告）號: CN1331254A
• 公開（公告）日: 2002-01-16
• 發明（設計）人: 洪圣恩;鄭旼鎬;鄭載昌;李根守;白基鎬
• 申請（專利權）人: 海力士半導體有限公司
• 主分類號: C08F20/10
• 分類號: C08F20/10;C09D133/08
• 代理公司: 柳沈知識產權律師事務所
• 代理人: 黃益芬

1.具有下述式1結構的化合物：

式1其中

R^a-R^c各自是氫或甲基；

R_a-R_d和R₁-R₉各自是-H，-OH，-OCOCH₃，-COOH，-CH₂OH或具有1-5個碳原子的取代或未取代的、或直鏈或支化的烷基或烷氧烷基；

l，m和n各自表示選自1，2，3，4和5的整數；

x，y和z各自表示0.01-0.99的摩爾分數；

2.權利要求1的化合物，其是聚[丙烯酸蒽甲基亞胺乙基酯-(丙烯酸2-羥乙基酯)-甲基丙烯酸縮水甘油酯]，其中R^a和R^b各自是氫，R^c表示甲基，R_a-R_d和R₁-R₉各自是氫，l，m和n各自是2，2和1，和x，y和z各自是0.5，0.3和0.2。

3.權利要求1的化合物，其是聚[丙烯酸蒽甲基亞胺乙基酯-(甲基丙烯酸2-羥乙基酯)-甲基丙烯酸縮水甘油酯]，其中R^a是氫，R^b和R^c各自是甲基，R_a-R_d和R₁-R₉各自是氫，l，m和n各自是2，2和1，和x，y和z各自是0.5.0.3和0.2。

4.權利要求1的化合物，其是聚[甲基丙烯酸蒽甲基亞胺乙基酯-(丙烯酸2-羥乙基酯)-甲基丙烯酸縮水甘油酯]，其中R^a和R^c各自是甲基，R^b表示氫，R_a-R_d和R₁-R₉各自是氫，l，m和n各自是2，2和1，和x，y和z各自是0.5，0.3和0.2。

5.權利要求1的化合物，其是聚[甲基丙烯酸蒽甲基亞胺乙基酯-(甲基丙烯酸2-羥乙基酯)-丙烯酸縮水甘油酯]，其中R^a和R^b各自是甲基，R^c表示氫，R_a-R_d和R₁-R₉各自是氫，l，m和n各自是2，2和1，和x，y和z各自是0.5，0.3和0.2。

6.權利要求1的化合物，其是聚[甲基丙烯酸蒽甲基亞胺乙基酯-(丙烯酸3-羥丙基酯)-甲基丙烯酸縮水甘油酯]，其中R^a和R^c各自是甲基，R^b表示氫，R_a-R_d和R₁-R₉各自是氫，l，m和n各自是2，3和1，和x，y和z各自是0.5，0.3和0.2。

7.權利要求1的化合物，其是聚[丙烯酸蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸2-羥乙基酯)-甲基丙烯酸縮水甘油酯]，其中R^a和R^b各自是氫，R^c表示甲基，R_a-R_d和R₁-R₉各自是氫，l，m和n各自是3，2和1，和x，y和z各自是0.5，0.3和0.2。

8.權利要求1的化合物，其是聚[丙烯酸蒽甲基亞胺丙基酯-(甲基丙烯酸2-羥乙基酯)-丙烯酸縮水甘油酯]，其中R^a和R^c各自是氫，R^b表示甲基，R_a-R_d和R₁-R₉各自是氫，l，m和n各自是3，2和1，和x，y和z各自是0.5，0.3和0.2。