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[發(fā)明專利]用來形成導線連接的設備無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 01123224.2 申請日: 2001-07-20
公開(公告)號: CN1334599A 公開(公告)日: 2002-02-06
發(fā)明(設計)人: 彼得·赫斯;卡洛·杜爾 申請(專利權)人: ESEC貿易公司
主分類號: H01L21/60 分類號: H01L21/60
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 代理人: 馮譜
地址: 瑞士*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用來 形成 導線 連接 設備
【權利要求書】:

1.一種用來在一個第一連接區(qū)域(2)與一個第二連接區(qū)域(3)之間形成導線連接的設備,帶有:一個毛細管(10),用來把導線附著到兩個連接區(qū)域(2、3)上以及在他們之間引導導線;一個圖象識別系統(tǒng),包括用來確定至少第一連接區(qū)域(2)的位置的一個光學系統(tǒng)(12)和一個攝象機(13),由此由攝象機(13)形成的圖象建立一個帶有一個第一和一個第二圖象軸線的坐標系,該設備的特征在于:在面對著毛細管(10)的光學系統(tǒng)(12、14)一側的光學系統(tǒng)(12)的一個光軸(23)包括一個對于垂線(21)的角度α1,角度α1不等于零,從而毛細管(10)的末端(27)剛好在碰撞第一連接區(qū)域(2)之前在攝象機(13)的圖象中是可見的;并且把圖象識別系統(tǒng)設計成,借助于由攝象機(13)拍攝的至少一個圖象確定相對于第一圖象軸線的毛細管(10)在第一連接區(qū)域(2)上的期望碰撞點的位置、和相對于第一圖象軸線的毛細管(10)的末端(27)的位置。

2.根據權利要求1所述的設備,其特征在于,圖象識別系統(tǒng)包括:一個另外的光學系統(tǒng)(14),其在面對著毛細管(10)的光學系統(tǒng)(12、14)一側的光軸(24)包括一個對于垂線(21)的角度α2,角度α2不等于零;和一個另外的攝象機(15),由此由另外攝象機(15)形成的圖象建立一個帶有一個第一和一個第二圖象軸線的坐標系,其特征還在于,把圖象識別系統(tǒng)設計成,借助于由另外攝象機(15)拍攝的至少一個圖象確定相對于另外攝象機(15)的第一圖象軸線毛細管(10)在第一連接區(qū)域(2)上的希望碰撞點的位置、和相對于另外攝象機(15)的第一圖象軸線毛細管(10)的末端(27)的位置。

3.根據權利要求1所述的設備,其特征在于,圖象識別系統(tǒng)進一步設計成,通過考慮毛細管(10)的圖象以及毛細管(10)的陰影,確定相對于第二圖象軸線的毛細管(10)在第一連接區(qū)域(2)上的希望碰撞點的位置、和相對于第二圖象軸線的毛細管(10)的末端(27)的位置。

4.根據權利要求3所述的設備,其特征在于,照明裝置(16)布置在由光學系統(tǒng)(12)的光軸(23)和垂線(21)建立的平面內,來自照明裝置(16)的光以對于垂線(21)的角度δ碰撞第一連接區(qū)域(2),由此角度δ與角度α1具有相同的大小。

5.根據權利要求1至4之一所述的設備,其特征在于:由獲得的毛細管(10)的末端(27)的位置與其在第一連接區(qū)域(2)上希望碰撞點位置的可能偏離,確定用于毛細管(10)的控制的校正向量;并且當接近第一連接區(qū)域(2)時或當接近一個以后的第一連接區(qū)域(2)時考慮該校正向量。

6.根據權利要求1至5之一所述的設備,其特征在于:由照明裝置(16)發(fā)射的光位于可見光譜的藍光部分中。

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