[發明專利]陶瓷燒結法、燒結爐、陶瓷電子零件制法、裝置及燒結用收納體

有效

• 申請號: 01118944.4
• 申請日: 2001-05-18
• 公開（公告）號: CN1332354A
• 公開（公告）日: 2002-01-23
• 發明（設計）人: 中西春夫;齋藤直樹;大鹽稔;小泉勝男
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: F27B9/00
• 分類號: F27B9/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所
• 代理人: 章鳴玉

本發明是涉及對于含陶瓷原料的各種處理品以做成陶瓷電子零件等的陶瓷制品的陶的燒結處理。

舉例來說，疊層型陶瓷電容器、閘極體、磁鐵鐵心、壓電體等的利用了陶瓷的陶瓷電子零件或者其它的陶瓷制品，是先將陶瓷原料成型成預定的形狀之后，再藉由對于這個成型體進行燒結而得的。傳統上，使用于燒結陶瓷電子零件的燒結爐是具備：隧道構造的爐本體；和被設在爐本體上的發熱體；和向著爐內的收納體從側面供給爐內氣相環境用氣體的爐內氣相環境用氣體供給管；和從爐的側面排出爐內的氣相環境氣體的氣相環境氣體排出管；和將收納著許多尚未燒結的陶瓷電子零件的收納體從隧道的入口運送到出口的推送裝置。

如圖6所示，收納體100是重疊數個在上面呈開口狀且在側面上部的中央部呈開口的盒狀的承盤101，并且在最上層的承盤101的上面又疊上一個蓋子102。這種收納體100是在被放置于支承板103上的狀態下，被導入到隧道式燒結爐內。尚未燒結的陶瓷電子零件則收納在各承盤101內。

在進行陶瓷的燒結時，制品為了要獲得所期望的特性，必須將爐內氣相環境氣體的濃度、流量、爐內的內壓等等調整成預定的條件。例如：必須將進行燒結時所產生的不必要的氣體(N₂氣相環境中的CO₂氣體等)迅速地排出。傳統的燒結爐雖然是從爐的側面排出氣體，但是仍然有人提出“希望能夠更迅速地排出氣體”的需要。

此外，以傳統的方式進行陶瓷電子零件的燒結時，必須對于收納在收納體100內的尚未燒結的陶瓷電子零件充分地供給爐內氣相環境用氣體，因此，也有人提出“希望有能夠比傳統的收納體100具有更佳的透氣性的收納體”的需要。此外，就收納體100本身而言，最好是能夠具有良好的溫度分布且與爐內氣相環境用氣體之間不易發生反應。

本發明就是有鑒于上述情事而開發完成的，其目的在于：提供可燒結出良好的陶瓷的陶瓷的燒結方法、隧道式燒結爐、陶瓷電子零件的制造方法及裝置、陶瓷電子零件的燒結用收納體。

為了達成上述目的，本申請人提出一種技術方案，其特征為：當利用隧道式燒結爐來燒結含陶瓷原料的尚未燒結的處理品時，對于通過隧道的處理品的行進方向，從側方將爐內氣相環境用氣體供給到爐內，并且從爐的底部將爐內的氣體排出。

根據本發明，從處理品的側方所供給的爐內氣相環境用氣體，在進行燒結時被使用過后，隨即就從爐的底部排出。也就是說，可產生從處理品朝向爐的底部的穩定氣流，所以可一直對處理品供給新鮮的爐內氣相環境用氣體。尤其是，因與處理品發生反應而產生的不必要的氣體的比重較所供給的爐內氣相環境用氣體的比重更大的時候，能夠更迅速地將該不必要的氣體排出。因此，根據本發明，可在氣相環境中燒結出良好的陶瓷。

此外，本發明所提出的另一個技術方案的特征為：從隧道的入口側的底部排出爐內的氣體。

根據本發明，能夠防止因與處理品發生反應而產生的不必要的氣體侵入到正在進行燒結的區域，所以可提高正在進行燒結的區域的氣相環境的穩定性，其結果可防止燒結出品質不一的陶瓷。

此外，本發明所提出的另一個技術方案是在于被供給爐內氣相環境用氣體的燒結爐中燒結尚未燒結的陶瓷電子零件所使用的陶瓷電子零件的燒結用收納體，其特征為：該陶瓷電子零件的燒結用收納體具備：

互相隔著間隔重疊設置的復數個第一板體；和

被配置于各第一板體的上面側與該第一板體隔著間隔，且在上面供放置尚未燒結的陶瓷電子零件的第二板體。

根據本發明，不僅是在于被放置在第二板體上面的尚未燒結的陶瓷電子零件的上方空間，就連第二板體與第一板體之間的間隙也形成氣相環境氣體的通路，所以氣相環境氣體的透氣性變得很好。如此一來，可降低陶瓷電子零件的燒結品質的不一。

茲佐以圖面，說明本發明的第一實施形態如下。

圖1是隧道式燒結爐的縱剖面圖。

圖2是沿著圖1中的A-A剖面線而從箭頭方向觀察時的橫剖面圖。

圖3是陶瓷電子零件的燒結用收納體的分解結構圖。

圖4是陶瓷電子零件的燒結用收納體的剖面圖。

圖5是用來說明其它例子的陶瓷電子零件的燒結用收納體的配置的上表面圖。

圖6是傳統的陶瓷電子零件的燒結用收納體的分解結構圖。

此處的含陶瓷原料的處理品，是舉出：疊層型陶瓷電容器、疊層型電感器、閘極體等的陶瓷電子零件為例加以說明。