[發(fā)明專利]曝光裝置、基片處理單元和光刻系統(tǒng)及器件制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01118812.X | 申請日： | 2001-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN1330292A | 公開（公告）日： | 2002-01-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 藤田浩裕 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 武玉琴,朱登河 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 曝光 裝置 處理 單元 光刻 系統(tǒng) 器件 制造 方法 | ||
1.與基片處理單元串聯(lián)聯(lián)接的曝光裝置，所述曝光裝置包括：
基片傳送系統(tǒng)，它承載基片并經(jīng)一個傳送部分與所述基片處理單元之間傳送基片；和
控制單元，它構(gòu)成一個控制系統(tǒng)來控制所述基片傳送系統(tǒng)，所述控制單元在決定有助于提高關(guān)于基片傳送的處理能力的操作之前，進(jìn)行至少與所述基片處理單元之間的發(fā)送和接收特定信息中的一個。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的曝光裝置，其特征在于：所述控制單元發(fā)送信息到所述基片處理單元，從而使所述基片處理單元決定有助于提高關(guān)于基片傳送的處理能力的以下操作，所述信息作為特定信息在開始所述以下操作之前發(fā)送。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括離所述基片傳送系統(tǒng)能夠接收基片的預(yù)測時間和期望時間之一。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括這樣的信息，即，使得基片處理單元方面暫停將所述基片傳送到所述傳送部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求2的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括到所述基片傳送系統(tǒng)能夠發(fā)送基片為止的預(yù)測時間和期望時間之一。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括這樣的信息，即，使得基片處理單元方面暫停在所述傳送部分接收基片的操作。
7.根據(jù)權(quán)利要求2的曝光裝置，其特征在于：所述控制單元還從所述基片處理單元接收作為所述特定信息的關(guān)于基片傳送的信息，并根據(jù)所述信息，預(yù)先決定其有助于提高關(guān)于基片傳送的處理能力的以下操作。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的曝光裝置，其特征在于：所述控制單元還從所述基片處理單元接收作為所述特定信息的關(guān)于基片傳送的信息，并根據(jù)所述信息，預(yù)先決定其有助于提高關(guān)于基片傳送的處理能力的以下操作。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括到所述基片處理單元方面能夠發(fā)送基片為止的預(yù)測時間和期望時間之一。
10.根據(jù)權(quán)利要求8的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括這樣的信息，即，使得基片傳送系統(tǒng)暫停在所述傳送部分接收基片的操作。
11.根據(jù)權(quán)利要求8的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括到所述基片處理單元能夠接收基片為止的預(yù)測時間和期望時間之一。
12.根據(jù)權(quán)利要求8的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括這樣的信息，即，使得基片傳送系統(tǒng)暫停向所述傳送部分發(fā)送基片的操作。
13.與曝光裝置串聯(lián)聯(lián)接的基片處理單元，所述基片處理單元包括：
基片傳送系統(tǒng)，它攜帶基片并經(jīng)傳送部分與所述曝光裝置之間傳送基片；及
控制單元，它構(gòu)成一個控制系統(tǒng)來控制所述基片傳送系統(tǒng)，所述控制單元在決定有助于提高關(guān)于基片傳送的處理能力的操作之前，進(jìn)行至少與所述曝光裝置之間發(fā)送和接收特定信息之一。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的基片處理單元，其特征在于：所述控制單元發(fā)送信息到所述曝光裝置，從而使所述曝光裝置決定其有助于提高關(guān)于基片傳送的處理能力的以下操作，所述信息作為特定信息在開始所述以下操作之前發(fā)送。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的基片處理單元，其特征在于：所述信息包括到所述基片傳送系統(tǒng)能夠接收所述基片為止的預(yù)測時間和期望時間之一。
16.根據(jù)權(quán)利要求14的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括這樣的信息，即，使得曝光裝置方面暫停將基片傳送到所述傳送部分。
17.根據(jù)權(quán)利要求14的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括到所述基片傳送系統(tǒng)能夠發(fā)送基片為止的預(yù)測時間和期望時間之一。
18.根據(jù)權(quán)利要求14的曝光裝置，其特征在于：所述信息包括這樣的信息，即，使得曝光裝置方面暫停在所述傳送部分接收基片的操作。
19.根據(jù)權(quán)利要求14的基片處理單元，其特征在于：所述控制單元還從所述曝光裝置接收作為所述特定信息的關(guān)于基片傳送的信息，并根據(jù)所述信息，預(yù)先決定其有助于提高關(guān)于基片傳送的處理能力的以下操作。
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